[實用新型]一種低溫燒結爐

有效

• 申請號: 202020583679.2
• 申請日: 2020-04-09
• 公開（公告）號: CN212006739U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 朱育平;付月明;孟祥飛
• 申請（專利權）人: 青島育豪微電子設備有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種低溫燒結爐，其特征在于，包括：

燒結爐本體，其包括外爐體(1)和設置于外爐體(1)內部的內爐體(2)，所述外爐體(1)和內爐體(2)之間通過若干組等距設置的支撐柱(4)進行連接，所述外爐體(1)和內爐體(2)的入口處還通過端口固定機構(8)進行固定；

排氣裝置(6)，其包括有固定在外爐體(1)上端的箱體(61)，所述箱體(61)內通過隔板(63)形成用于廢氣過濾的上空腔(64)和用于廢氣冷卻的下空腔(62)，所述下空腔(62)通過導氣管(5)的一端連接于內爐體(2)內部，該導氣管(5)的另一端連接有位于下空腔(62)內的S型紫銅彎管(51)，所述S型紫銅彎管(51)的出氣口處貫穿隔板(63)于上空腔(64)連通；

所述上空腔(64)內部還設有氣體過濾裝置(10)，所述箱體(61)頂部安裝的引風機(7)的進氣口處連通于上空腔(64)；

所述氣體過濾裝置(10)包括有矩形框架(102)和嵌入至矩形框架(102)的氣體過濾網(100)，所述矩形框架(102)的兩側滑接于上空腔(64)兩側壁上的滑槽(65)內，所述矩形框架(102)一端還連接有用于密封上空腔(64)的密封板(103)。

2.如權利要求1所述的一種低溫燒結爐，其特征在于，所述外爐體(1)和內爐體(2)之間通過隔熱材料層(3)進行填充，所述矩形框架(102)的上端兩側還設有用于增加矩形框架(102)和滑槽(65)滑接阻尼的橡膠凸起(101)。

3.如權利要求1所述的一種低溫燒結爐，其特征在于，所述端口固定機構(8)包括卡在外爐體(1)和內爐體(2)之間的外圓環(81)和設置于外圓環(81)內側的內圓環(84)，所述外圓環(81)和內圓環(84)之間的卡接槽(82)用于卡接內爐體(2)的端口。

4.如權利要求3所述的一種低溫燒結爐，其特征在于，所述外爐體(1)和內爐體(2)的入口處通過凸臺型端蓋(9)進行密封，所述凸臺型端蓋(9)的中部圓形凸臺插入至內圓環(84)內側的插接孔(83)內。

5.如權利要求3所述的一種低溫燒結爐，其特征在于，所述外圓環(81)通過螺栓(11)固定，該螺栓(11)貫穿外爐體(1)的側壁螺接于外圓環(81)。