[實用新型]紫外皮秒激光器加工控制系統

有效

• 申請號: 202020530090.6
• 申請日: 2020-04-13
• 公開（公告）號: CN212019737U
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 牛崗;毛柘
• 申請（專利權）人: 江蘇銳通激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/0622
• 分類號: B23K26/0622;B23K26/067;B23K26/042;B23K26/064;B23K26/082;B23K26/046;B23K26/70
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 袁興隆

本實用新型涉及一種紫外皮秒激光器加工控制系統，本紫外皮秒激光器加工控制系統包括：處理器模塊、角度檢測模塊、多軸驅動機構，紫外固態皮秒激光發射模塊、擴束準直模塊、聚焦模塊、變倍鏡組和激光掃描模塊；所述角度檢測模塊適于檢測紫外固態皮秒激光發射模塊的三維角度數據并發送至處理器模塊，所述處理器模塊適于根據三維角度數據控制多軸驅動機構調整紫外固態皮秒激光發射模塊發射紫外激光的出射角度；本實用新型通過檢測紫外固態皮秒激光發射模塊的三維角度數據，通過調整紫外固態皮秒激光發射模塊發射紫外激光的出射角度，能夠使紫外激光精準進入光學器件，保證加工效率、加工精度。

技術領域

本實用新型屬于激光加工技術領域，具體涉及一種紫外皮秒激光器加工控制系統。

背景技術

現有比較完善的激光加工采用紅外激光進行加工，但是精密材料、3D打印等需要用到紫外激光來進行加工，而市場上現有的紫外加工系統結構復雜，并且輸出的紫外激光的光斑尺寸不能夠調節，同一臺紫外激光器不能對不同規格精密材料完成加工。

并且在生產過程中需要對紫外激光器移動、安裝，會造成紫外激光器發射的紫外激光進入光學器件的角度產生偏差，影響效率和精度。

因此，亟需開發一種新的紫外皮秒激光器加工控制系統，以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種紫外皮秒激光器加工控制系統，以解決如何紫外固態皮秒激光發射模塊發射的紫外激光精準進入光學器件的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種紫外皮秒激光器加工控制系統，其包括：處理器模塊、與所述處理器模塊電性相連的角度檢測模塊、多軸驅動機構，紫外固態皮秒激光發射模塊、擴束準直模塊、聚焦模塊、變倍鏡組和激光掃描模塊；其中所述角度檢測模塊安裝在紫外固態皮秒激光發射模塊上，且所述多軸驅動機構的輸出部連接紫外固態皮秒激光發射模塊；所述角度檢測模塊適于檢測紫外固態皮秒激光發射模塊的三維角度數據并發送至處理器模塊，所述處理器模塊適于根據三維角度數據控制多軸驅動機構調整紫外固態皮秒激光發射模塊發射紫外激光的出射角度，即所述紫外固態皮秒激光發射模塊將發射紫外激光至擴束準直模塊進行擴束準直后，紫外激光通過所述聚焦模塊進行聚焦，所述變倍鏡組適于調節紫外激光的光斑尺寸，所述激光掃描模塊控制紫外激光對精密材料進行激光加工。

進一步，所述角度檢測模塊適于采用陀螺儀。

進一步，所述多軸驅動機構適于三軸驅動機構。

進一步，所述紫外固態皮秒激光發射模塊包括：紫外固態皮秒激光器；所述紫外固態皮秒激光器適于發出紫外激光。

進一步，所述擴束準直模塊包括：擴束鏡和準直鏡；所述擴束鏡適于對紫外激光進行擴束；所述準直鏡適于對紫外激光進行準直。

進一步，所述聚焦模塊包括：聚焦鏡；所述聚焦鏡適于對紫外激光進行聚焦。

進一步，所述變倍鏡組包括：第一透鏡組和第二透鏡組；通過調節所述第一透鏡組與所述第二透鏡組之間的間距，以改變所述變倍鏡組的焦距，從而調節通過所述變倍鏡組的紫外激光的光斑尺寸。

進一步，所述第一透鏡組與所述第二透鏡組結構相同；所述第一透鏡組包括：卡環、透鏡座，以及用于調節焦距的透鏡鏡片；所述透鏡座開設有卡環放置位，所述卡環適于固定透鏡鏡片；若干接桿適于垂直貫穿所述第一透鏡組和所述第二透鏡組的透鏡座，通過若干鎖緊螺柱從所述第一透鏡組和所述第二透鏡組的透鏡座側邊插入以鎖緊接桿，從而將所述第一透鏡組和所述第二透鏡組進行固定，即所述第一透鏡組、所述第二透鏡組通過在接桿上移動以調節所述第一透鏡組與所述第二透鏡組之間的間距。

進一步，所述激光掃描模塊包括：場鏡和掃描振鏡；所述場鏡對通過的紫外激光進行聚焦，并通過掃描振鏡將紫外激光打在精密材料上相應位置，以進行激光加工。