[實用新型]一種晶圓包裝容器用固定結構及用于晶圓包裝容器的蓋體

有效

• 申請號: 202020446413.3
• 申請日: 2020-03-31
• 公開（公告）號: CN212402068U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 孫彬
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: B65D51/24
• 分類號: B65D51/24
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

本申請公開了一種晶圓包裝容器用固定結構及用于晶圓包裝容器的蓋體，其中，固定結構設置于包裝容器蓋體內表面上，包括：伸縮機構，第一支撐臂和第二支撐臂，其中，伸縮機構安裝于蓋體內表面上，其自由端固定連接有定位座；第一支撐臂和第二支撐臂設置于伸縮機構的兩側，且分別鉸接有活動臂，各活動臂還分別與定位座活動連接，所述活動臂能夠隨著伸縮機構的伸縮運動發生相對移動。本申請所公開的固定結構利用可移動的活動臂能夠保證晶圓可以輕易地卡接到定位座上被鎖住，且利用伸縮機構的伸縮性，有效解決了現有的硬質固定結構易形變造成崩斷的問題，提高了置于晶圓包裝容器內的晶圓在運輸過程中的安全性，降低了晶圓破片情況發生的概率。

技術領域

本申請一般涉及半導體技術領域，具體涉及一種晶圓包裝容器用固定結構及用于晶圓包裝容器的蓋體。

背景技術

晶圓在運輸的過程中，為防止外界環境對晶圓造成污染及破壞，常常利用包裝容器來裝載晶圓，同時，通過在晶圓包裝容器內適當地設置固定結構以避免晶圓在運輸過程中發生碰撞磨損。

請參照圖1和圖2，示出了一種目前主流裝載12英寸晶圓的料盒，該料盒的蓋體上具有用于固定晶圓的鋸齒狀卡扣。然而，這種蓋體暴露出兩個主要問題：第一，蓋體水平蓋合料盒開口時，蓋體垂直方向的一點偏移或少數片的不水平，就會導致晶圓無法準確對準卡扣，且卡扣的圓弧形結構使得晶圓容易進入相鄰兩個卡扣之間的縫隙中，這樣就不能很好的固定晶圓；第二：為了固定住晶圓，蓋體上的卡扣需要頂緊晶圓，這樣就會造成蓋完蓋體后的運輸過程，蓋體的卡扣長期處于壓迫形變狀態，長時間的使用下去，卡扣會出現崩斷狀況，導致晶圓無法有效固定，從而滑出。

以上的兩種問題都會造成晶圓無法固定，從而在長時間的運輸中，導致晶圓因震動發生裂片，造成了嚴重的成本損失。

實用新型內容

鑒于現有技術中的上述缺陷或不足，本申請期望提供一種晶圓包裝容器用固定結構及用于晶圓包裝容器的蓋體，以期實現對晶圓的有效固定和保護。

作為本申請的第一方面，本申請提供了一種晶圓包裝容器用固定結構。

作為優選，所述固定結構設置于晶圓包裝容器的蓋體內表面上，在蓋體蓋合包裝容器開口的過程中，用于隨著蓋體的移動抵推固定所述晶圓，包括：

伸縮機構，所述伸縮機構水平安裝于蓋體內表面上，其自由端固定連接有定位座；

第一支撐臂和第二支撐臂，所述第一支撐臂和所述第二支撐臂設置于所述伸縮機構的兩側，所述第一支撐臂和所述第二支撐臂的一端分別連接于蓋體內表面，另一端向遠離蓋體的方向延伸；

所述第一支撐臂和所述第二支撐臂分別鉸接有活動臂，各所述活動臂還分別與所述定位座活動連接，其中，所述活動臂能夠隨著所述伸縮機構的伸縮運動發生相對移動，使得所述固定結構具有展開位和收縮位。

作為優選，當所述固定結構處于展開位時，所述兩個活動臂處于同一直線上，且所述活動臂的長度方向與所述伸縮機構的長度方向垂直。

作為優選，當所述固定結構處于收縮位時，所述晶圓抵接于定位座的外表面，所述活動臂連接定位座的一端隨著所述伸縮機構向靠近蓋體的方向移動，從而在兩個活動臂之間形成用于收容所述晶圓的V 型開口。

作為優選，所述定位座用于接觸晶圓的外表面上具有一弧形定位槽，所述晶圓固定卡接于所述弧形定位槽中。

作為優選，所述定位座上還設置有用于使活動臂恢復至初始位置的限位塊。

作為優選，所述第一支撐臂和/或第二支撐臂連接于蓋體內表面的一端與伸縮機構之間的夾角為銳角。

作為優選，所述伸縮機構為彈簧。

作為本申請的第二方面，本申請提供了一種用于晶圓包裝容器的蓋體。