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[實用新型]一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒有效

專利信息
申請號: 202020431176.3 申請日: 2020-03-30
公開(公告)號: CN212426237U 公開(公告)日: 2021-01-29
發明(設計)人: 段俊飛;王藝澄 申請(專利權)人: 包頭美科硅能源有限公司
主分類號: C30B15/00 分類號: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 代理人: 馬嚴龍
地址: 014010 內蒙古自治區*** 國省代碼: 內蒙古;15
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 高拉速 單晶硅 新型 導流
【權利要求書】:

1.一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,包括導流筒外導(1)和導流筒內膽(2),導流筒外導(1)和導流筒內膽(2)之間為保溫材質(3),其特征在于:所述導流筒內膽(2)在軸向上為多層的環形階梯結構,環形階梯結構的內徑從下至上逐漸增大,所述導流筒內膽(2)內設有與導流筒內膽(2)的環形階梯結構相同的水冷熱屏(4),水冷熱屏(4)的上部高于導流筒內膽(2)。

2.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:所述水冷熱屏(4)最下層的環形階梯的內徑為300mm。

3.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:所述水冷熱屏(4)最下層的環形階梯側壁與導流筒外導(1)之間的距離30mm。

4.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:所述水冷熱屏(4)總高480mm,共有四層至六層的環形階梯。

5.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:水冷熱屏(4)每層環形階梯的寬度為4mm。

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