[實用新型]一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒有效
| 申請號: | 202020431176.3 | 申請日: | 2020-03-30 |
| 公開(公告)號: | CN212426237U | 公開(公告)日: | 2021-01-29 |
| 發明(設計)人: | 段俊飛;王藝澄 | 申請(專利權)人: | 包頭美科硅能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 馬嚴龍 |
| 地址: | 014010 內蒙古自治區*** | 國省代碼: | 內蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高拉速 單晶硅 新型 導流 | ||
1.一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,包括導流筒外導(1)和導流筒內膽(2),導流筒外導(1)和導流筒內膽(2)之間為保溫材質(3),其特征在于:所述導流筒內膽(2)在軸向上為多層的環形階梯結構,環形階梯結構的內徑從下至上逐漸增大,所述導流筒內膽(2)內設有與導流筒內膽(2)的環形階梯結構相同的水冷熱屏(4),水冷熱屏(4)的上部高于導流筒內膽(2)。
2.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:所述水冷熱屏(4)最下層的環形階梯的內徑為300mm。
3.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:所述水冷熱屏(4)最下層的環形階梯側壁與導流筒外導(1)之間的距離30mm。
4.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:所述水冷熱屏(4)總高480mm,共有四層至六層的環形階梯。
5.根據權利要求1所述的一種高拉速9吋單晶硅的新型導流筒,其特征在于:水冷熱屏(4)每層環形階梯的寬度為4mm。
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