[實用新型]晶圓清洗機防脫落裝置

有效

• 申請號: 202020409426.3
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN212370666U
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: 田英干
• 申請（專利權）人: 嘉興晶裝電子科技股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王大國

本實用新型公開了晶圓清洗機防脫落裝置，包括底座，所述底座的內側壁底部位置設置有動滑輪，所述底座的內側壁頂部位置設置有動滑輪，所述動滑輪與動滑輪之間設置有安全繩，所述安全繩的一端安裝有移動板，所述移動板的上端設置有旋轉臺，旋轉臺的上表面固定連接有支撐桿體，所述支撐桿體的側壁設置有晶圓主體，所述支撐桿體的一側側壁設置有防護箱，所述防護箱的內部設置有轉動輪，所述轉動輪的內側壁轉動連接有棘爪，所述轉動輪的內部設置有棘輪，所述棘爪的一端卡接在棘輪的內部，所述棘輪的內部固定連接有螺栓桿。本實用新型增加防護結構，避免其脫落，可以調節清洗臺的高度，保證清洗效果和晶圓的產品質量。

技術領域

本實用新型涉及晶圓清洗技術領域，尤其涉及晶圓清洗機防脫落裝置。

背景技術

隨著半導體技術的發展，半導體器件的集成度越來越高，對晶圓表面的清洗要求也越來越高，晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，通常采用晶圓清洗機臺對晶圓進行清洗，晶圓單片式清洗過程中，利用清洗設備的旋轉結構帶動晶圓旋轉，化學清洗液通過噴嘴從腔體上方噴灑在晶圓表面，使用完的清洗液經旋轉甩出。

現有的晶圓清洗機結構功能單一，在對晶圓進行清洗時，不可以調節清洗臺的高度，液體噴管與清洗臺之間的距離會直接影響到清洗效果和晶圓的產品質量，而且清洗臺不具有防護結構，晶圓在清洗的過程中，操作不當容易脫落損壞，設計不合理。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的晶圓清洗機防脫落裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

晶圓清洗機防脫落裝置，包括底座，所述底座的內側壁底部位置設置有動滑輪，所述底座的內側壁頂部位置設置有動滑輪，所述動滑輪與動滑輪之間設置有安全繩，所述安全繩的一端安裝有移動板，所述移動板的上端設置有旋轉臺，旋轉臺的上表面固定連接有支撐桿體，所述支撐桿體的側壁設置有晶圓主體，所述支撐桿體的一側側壁設置有防護箱，所述防護箱的內部設置有轉動輪，所述轉動輪的內側壁轉動連接有棘爪，所述轉動輪的內部設置有棘輪，所述棘爪的一端卡接在棘輪的內部，所述棘輪的內部固定連接有螺栓桿，所述螺栓桿的表面轉動連接有螺母套，所述防護箱的下表面固定連接有中間座，所述中間座的下方設置有定圈體和動圈體。

優選的，所述中間座的下表面開設有工形滑槽，所述工形滑槽的內部滑動連接有工形滑塊。

優選的，所述防護箱的一側側壁開設有調節槽口，所述螺栓桿的兩端與防護箱的內側壁轉動連接，所述螺母套的一側側壁設置有豎桿，所述豎桿的下端貫穿防護箱的內部。

優選的，所述底座的內部插接有液體管，所述旋轉臺的上表面固定連接有支撐桿體，所述支撐桿體設置在晶圓主體的側壁。

優選的，所述底座的內側壁開設有通槽，所述移動板的一端貫穿通槽的內部。

優選的，所述定圈體和動圈體的內側壁均固定連接有橡膠防損墊，所述晶圓主體設置在定圈體和動圈體直接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型中，通過調節轉動輪，轉動輪通過棘爪帶動棘輪轉動，從而棘輪內部的螺栓桿轉動，螺母套在螺栓桿的帶動下平移，定圈體和動圈體可以將晶圓主體加固，增加防護結構，避免其脫落，棘爪的一端與棘輪卡接，有效避免裝置回轉，結構穩定。

2、本實用新型中，動滑輪轉動，通過動滑輪對安全繩進行收卷，可以改變移動板的高度，從而可以調節清洗臺的高度，保證清洗效果和晶圓的產品質量，通過工形滑塊在工形滑槽的內部移動，可以保證動圈體移動的穩定性。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的晶圓清洗機防脫落裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的晶圓清洗機防脫落裝置的防護箱的結構示意圖；