[實(shí)用新型]一種爐體冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020396976.6
• 申請(qǐng)日: 2020-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN212538818U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龐愛鎖;林佳繼;李東林;劉群;林依婷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F27D9/00
• 分類號(hào): F27D9/00
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實(shí)用新型公開了一種爐體冷卻裝置,包括爐體、爐腳和冷卻箱，所述爐腳與地面接觸，所述爐體下設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，所述爐體上設(shè)置有爐側(cè)門和爐外門，所述爐側(cè)門和爐外門上設(shè)置有通風(fēng)口，所述爐門內(nèi)設(shè)置有熱場(chǎng)，所述冷卻箱固設(shè)置于爐體上側(cè)，所述冷卻箱箱體包括箱板機(jī)構(gòu)、蓋板和底板，所述冷卻箱內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置，所述冷卻箱外側(cè)連接設(shè)置有冷卻水裝置。本實(shí)用新型采用下進(jìn)風(fēng)和百葉窗雙重物理的持續(xù)進(jìn)風(fēng)方式，提高設(shè)備內(nèi)部和外殼降溫的速度，同時(shí)采用八字形的水冷盤布置，避免高溫?zé)釟馍⒌江h(huán)境中，且設(shè)備采用風(fēng)冷和水冷兩種降溫方式，避免持續(xù)高溫對(duì)設(shè)備的影響，延長(zhǎng)爐體使用壽命，有利于穩(wěn)定生產(chǎn)，提高設(shè)備的可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能光伏電池制造領(lǐng)域，涉及太陽(yáng)能光伏電池制造設(shè)備中的冷卻裝置。

背景技術(shù)

在太陽(yáng)能光伏電池的生產(chǎn)中，高溫爐體是重要的組成部分，如擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體器件工藝設(shè)備的重要設(shè)備之一，主要用于對(duì)單晶硅片、多晶硅片進(jìn)行摻雜，形成PN結(jié)，另外還有等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備，其主要功能是薄膜生長(zhǎng)，如用于氮化硅、氧化鋁、本征硅、摻雜非晶硅等的薄膜生長(zhǎng)，還有退火爐、LPCVD等設(shè)備都需要進(jìn)行高溫加熱，同時(shí)為保護(hù)爐體及內(nèi)部的設(shè)備，爐體中的熱場(chǎng)散發(fā)的熱量需要快速散發(fā)，保證爐體溫度在合適范圍內(nèi)。

隨著對(duì)產(chǎn)能的追求，單臺(tái)設(shè)備的爐管數(shù)量不斷增加，繼而熱場(chǎng)散發(fā)的熱量增加，而現(xiàn)有的冷卻裝置無(wú)法完全對(duì)多組爐管形成的熱量進(jìn)行冷卻，此設(shè)備有效地解決了這種問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種爐體冷卻裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：一種爐體冷卻裝置, 其特征在于：包括爐體、冷卻箱，所述爐體下設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，所述爐體上設(shè)置有爐側(cè)門和爐外門，所述爐側(cè)門和爐外門上設(shè)置有通風(fēng)口，所述爐側(cè)門和爐外門內(nèi)設(shè)置有熱場(chǎng)，所述冷卻箱固設(shè)置于爐體上側(cè)，所述冷卻箱箱體包括箱板機(jī)構(gòu)、蓋板和底板，所述冷卻箱內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置，所述冷卻箱外側(cè)連接設(shè)置有冷卻水裝置。

進(jìn)一步的；所述冷卻裝置包括固板、熱排和空腔體，所述熱排設(shè)置于固板上，所述空腔體對(duì)稱設(shè)置于固板兩側(cè)，所述空腔體上側(cè)固設(shè)有排風(fēng)部件，所述空腔體固設(shè)于所述底板上，所述空腔體與所述底板所成角度小于90°，所述空腔體內(nèi)固設(shè)有水冷盤，所述水冷盤下側(cè)固設(shè)有側(cè)板，所述側(cè)板與固板固設(shè)連接，所述側(cè)板、固板與爐體形成密閉空間。

進(jìn)一步的；所述冷卻水裝置包括進(jìn)水管、出水管，所述進(jìn)水管上側(cè)固設(shè)有進(jìn)水閥，所述進(jìn)水管連通設(shè)置有進(jìn)水口，所述進(jìn)水管下側(cè)貫穿空腔體，所述出水管上側(cè)固設(shè)有出水閥，所述出水管連通設(shè)置有出水口，所述出水管下側(cè)貫穿空腔體，所述出水管與所述進(jìn)水管連通設(shè)置。

進(jìn)一步的；還包括爐腳，所述爐腳與地面接觸，兩組所述空腔體設(shè)置為八字形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的；所述熱排設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)，所述熱排貫穿蓋板與外部空間連通。

進(jìn)一步的；所述箱板機(jī)構(gòu)包括箱板一、箱板二、箱板三、箱板四，所述箱板一和箱板三平行設(shè)置，所述箱板二和箱板四平行設(shè)置，所述箱板三和箱板一上設(shè)置有掛鉤，所述掛鉤設(shè)置為“U”型結(jié)構(gòu)，所述箱板二和箱板四上設(shè)置相應(yīng)的安裝孔，所述掛鉤和安裝孔配合。

進(jìn)一步的；所述冷卻水裝置還包括夾片，所述夾片將進(jìn)水管和出水管固設(shè)在箱板機(jī)構(gòu)上。

進(jìn)一步的；所述蓋板上設(shè)置有通孔和透氣孔，所述蓋板上的通孔數(shù)量、位置和大小與熱排相配。

進(jìn)一步的；所述爐體包括爐門拉手，所述爐門拉手設(shè)置于爐側(cè)門上，所述爐體還包括對(duì)稱設(shè)置的爐側(cè)邊和對(duì)稱設(shè)置的爐外邊，所述爐側(cè)邊的長(zhǎng)度大于爐外邊長(zhǎng)度。