[實(shí)用新型]一種三氟甲烷的純化裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020378384.1
• 申請日: 2020-03-23
• 公開（公告）號: CN211886758U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾熙;張朝春;傅鐘盛
• 申請（專利權(quán)）人: 福建德爾科技有限公司
• 主分類號: B01J10/00
• 分類號: B01J10/00;C07C17/38;C07C17/395;C07C19/08
• 代理公司: 南昌金軒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 36129
• 代理人: 夏軍

本實(shí)用新型公開了一種三氟甲烷的純化裝置，屬于三氟甲烷純化領(lǐng)域，包括裝置本體，裝置本體包括排液管、進(jìn)液管、反應(yīng)罐、儲液罐、進(jìn)氣管以及排氣管，反應(yīng)罐與排液管、進(jìn)液管、進(jìn)氣管以及排氣管連通連接；進(jìn)液管以及排液管與儲液罐連通，進(jìn)液管位于反應(yīng)罐的上方，進(jìn)液管的一部分伸入反應(yīng)罐，且配置有霧化噴頭，進(jìn)氣管位于反應(yīng)罐的底部，且進(jìn)氣管伸入反應(yīng)罐的一部分配置有蘑菇噴氣裝置；三氟甲烷從進(jìn)氣管通過蘑菇噴氣裝置排出形成若干個氣泡，在反應(yīng)罐的反應(yīng)液體中反應(yīng)后離開反應(yīng)液體，由于進(jìn)液管的霧化噴頭的設(shè)置，使得離開液體的三氟甲烷在霧化的反應(yīng)液體中進(jìn)行二次充分反應(yīng)，隨即從排氣管中排出收集即可，使得三氟甲烷的純化反應(yīng)可以充分反應(yīng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉八氟環(huán)丁烷制備領(lǐng)域，尤其涉及一種三氟甲烷的純化裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)今社會，超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)蓬勃發(fā)展，而被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散、清洗等工藝的電子氣體是上述工業(yè)不可缺少的原料。隨著電子消費(fèi)品的升級換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品合格率和缺陷控制越來越嚴(yán)格，整個電子工業(yè)對電子氣體氣體純度的要求也越來越高。

高純度三氟甲烷也是重要的電子材料電子材料刻蝕和清洗劑。但用作電子刻蝕劑和清洗劑對三氟甲烷純度要求很高，需要加大提純、回收技術(shù)的研發(fā)力度。氮化鎵(GaN)是一種廣泛應(yīng)用于制造藍(lán)光、紫光和白光二極管、紫外線監(jiān)測器和高功率微波晶體管的材料。

鑒于三氟甲烷生產(chǎn)過程的特點(diǎn)，會產(chǎn)生一些酸性氣體如氟化氫、氯化氫等，可用清水、堿性或者還原性溶液吸收去除，現(xiàn)有純化技術(shù)中，采用分子篩吸附工藝氣體中的水份及二氧化碳，由于吸附過程中分子篩對工藝氣體也有吸附作用，并且過程中伴隨著大量的熱量，因此，純化效率較低，工藝氣體損失較多。

目前純化裝置中效率低不能同時吸收二氧化碳和水分，所以設(shè)計(jì)一款能同時吸收三氟甲烷中的二氧化碳以及水分，且使得純化的反應(yīng)充分，且可以使得純化效率提高的純化裝置是關(guān)鍵。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提出一種三氟甲烷的純化裝置。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供的一種三氟甲烷的純化裝置，包括裝置本體，所述裝置本體包括排液管、進(jìn)液管、反應(yīng)罐、儲液罐、進(jìn)氣管以及排氣管，所述反應(yīng)罐與所述排液管、所述進(jìn)液管、所述進(jìn)氣管以及所述排氣管連通連接；所述進(jìn)液管以及所述排液管與所述儲液罐連通，且所述儲液罐內(nèi)儲存反應(yīng)液體；所述反應(yīng)罐的三分之一至二分之一的空間內(nèi)裝有反應(yīng)液體；所述進(jìn)液管位于所述反應(yīng)罐的上方，所述進(jìn)液管的一部分伸入所述反應(yīng)罐，且配置有霧化噴頭，所述霧化噴頭位于所述反應(yīng)罐的內(nèi)部上方；所述進(jìn)氣管位于所述反應(yīng)罐的底部，且所述進(jìn)氣管伸入所述反應(yīng)罐的一部分配置有蘑菇噴氣裝置；三氟甲烷從所述進(jìn)氣管通過所述蘑菇噴氣裝置排出形成若干個氣泡，在所述反應(yīng)罐的反應(yīng)液體中反應(yīng)后離開反應(yīng)液體，由于所述進(jìn)液管的所述霧化噴頭的設(shè)置，使得離開液體的三氟甲烷在霧化的反應(yīng)液體中進(jìn)行二次充分反應(yīng)，隨即從所述排氣管中排出收集即可，使得三氟甲烷的純化反應(yīng)可以充分反應(yīng)。

本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述蘑菇噴氣裝置上開設(shè)有若干個通氣通孔，使得進(jìn)入所述反應(yīng)罐的三氟甲烷形成氣泡，防止所述反應(yīng)罐內(nèi)壓力過大，且可以防止三氟甲烷反應(yīng)不充分。

本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述反應(yīng)液體為堿性溶液，使得二氧化碳以及水分都能被吸收。

本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述進(jìn)液管上有若干個分管伸入所述反應(yīng)罐內(nèi)，且每個所述分管上都配置有所述霧化噴頭，多個所述霧化噴頭的設(shè)置，使得從所述反應(yīng)液體排出的三氟甲烷能再次反應(yīng)，達(dá)到純化的效果。

本實(shí)用新型優(yōu)選地技術(shù)方案在于，所述蘑菇噴氣裝置完全淹沒在所述反應(yīng)罐的所述反應(yīng)液體內(nèi)，防止與所述反應(yīng)液體的第一次反應(yīng)不充分。