[實用新型]基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔

有效

• 申請號: 202020267968.1
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN211552729U
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 司文榮;虞益挺;傅晨釗;李浩勇;吳旭濤;陸啟宇;黃華;王謝君;徐夢飛;黃昊;李秀廣;梁基重;藥煒;何寧輝;周秀;馬飛越;陳川;劉昕;袁鵬
• 申請（專利權）人: 國網上海市電力公司;西北工業大學;國網寧夏電力有限公司電力科學研究院;國網山西省電力公司;全球能源互聯網研究院有限公司;西安茂榮電力設備有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G02B6/293
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 應小波

1.一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，包括梅花型光纖(1)、引導孔(2)、支撐框架(3)、孔肩(4)、干涉腔本體(5)、敏感膜片(6)、第一反射層(7)和第二反射層(8)；所述梅花型光纖(1)包括中心光纖(9)和環繞光纖(10)；

所述梅花型光纖(1)固接在引導孔(2)中并與第二反射層(8)相連接，所述的中心光纖(9)與第一反射層(7)中心對準，所述的環繞光纖(10)與第二反射層(8)相連接，所述第二反射層(8)設在引導孔(2)底部和干涉腔本體(5)構成的孔肩(4)上，所述干涉腔本體(5)設在引導孔(2)的底部且與引導孔(2)的中心同軸，所述敏感膜片(6)制作在干涉腔本體(5)的底部并與支撐框架(3)連接，所述第一反射層(7)設在敏感膜片(6)上。

2.根據權利要求1所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述敏感膜片(6)與梅花型光纖(1)端面之間的距離通過干涉腔本體(5)的長度控制。

3.根據權利要求1所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述梅花型光纖(1)采用N-1根環繞光纖(10)繞1根中心光纖(9)圓周均布的方式排列。

4.根據權利要求3所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述N為5。

5.根據權利要求3所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述N為9。

6.根據權利要求1所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述引導孔(2)、支撐框架(3)、孔肩(4)、干涉腔本體(5)、敏感膜片(6)均為通過干法刻蝕或者濕法腐蝕硅片、氧化硅片、氮化硅片、SOI片的材料整體制作而成的部件。

7.根據權利要求1所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述第一反射層(7)為通過蒸鍍或磁控濺射金、銀、鋁的材料制作而成的部件。

8.根據權利要求1所述的一種基于梅花型光纖的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，所述第二反射層(8)為通過蒸鍍或磁控濺射金、銀、鋁的材料制作而成的部件。