[實(shí)用新型]放電激勵(lì)氣體激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020259817.1
• 申請日: 2020-03-05
• 公開（公告）號: CN211789972U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鯨涼太;伊藤貴志;石井卓也;八代將徳
• 申請（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;H01S3/036
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 王鍇;陶海萍

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種放電激勵(lì)氣體激光裝置。通過在第1密封部件的大氣側(cè)設(shè)置第2密封部件，并且，向第1密封部件與第2密封部件之間的空間內(nèi)導(dǎo)入惰性氣體或氮?dú)猓@樣，能夠通過導(dǎo)入的惰性氣體或氮?dú)鈱υ摽臻g內(nèi)的氣體進(jìn)行凈化，防止了大氣中的水分和氧氣等成分透過第1密封部件進(jìn)入腔室內(nèi)，從而能夠保證放電激勵(lì)氣體激光裝置的性能，避免激光氣體的交換頻率上升以及運(yùn)行成本的增加。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光領(lǐng)域，尤其涉及一種放電激勵(lì)氣體激光裝置。

背景技術(shù)

在以往的技術(shù)中，放電激勵(lì)氣體激光裝置具有容納激光氣體的腔室。圖1是現(xiàn)有的放電激勵(lì)氣體激光裝置的一示意圖。如圖1所示，放電激勵(lì)氣體激光裝置10具有腔室11、絕緣部件12、第1電極13、第2電極14、風(fēng)扇15以及熱交換器16，腔室 11具有開口，絕緣部件12堵塞該開口，腔室1內(nèi)封入激光氣體，在腔室11內(nèi)，對置的第1電極13和第2電極14進(jìn)行放電，由此激勵(lì)激光氣體。另外，使用O型圈17 對腔室進(jìn)行密封。另外，在腔室11內(nèi)，風(fēng)扇15使激光氣體循環(huán)，熱交換器16對激光氣體進(jìn)行冷卻。

應(yīng)該注意，上面對技術(shù)背景的介紹只是為了方便對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的說明，并方便本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而闡述的。不能僅僅因?yàn)檫@些方案在本實(shí)用新型的背景技術(shù)部分進(jìn)行了闡述而認(rèn)為上述技術(shù)方案為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在現(xiàn)有的放電激勵(lì)氣體激光裝置中，雖然使用O型圈17對腔室進(jìn)行密封，但是，大氣中的水分和氧氣等成分仍然可能透過O型圈17 進(jìn)入到腔室11內(nèi)，導(dǎo)致激光輸出下降等激光裝置性能的降低，從而進(jìn)一步導(dǎo)致激光氣體的交換頻率上升，運(yùn)行成本增加。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種放電激勵(lì)氣體激光裝置，能夠防止大氣中的水分和氧氣等成分進(jìn)入激光腔室，從而能夠保證放電激勵(lì)氣體激光裝置的性能，避免激光氣體的交換頻率上升以及運(yùn)行成本的增加。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第一方面，提供一種放電激勵(lì)氣體激光裝置，所述放電激勵(lì)氣體激光裝置具有：腔室，其具有開口；絕緣部件，其配置有電極，并且所述絕緣部件堵塞所述開口；第1密封部件，其設(shè)置在所述腔室和所述絕緣部件之間，對所述腔室的內(nèi)部進(jìn)行密封；第2密封部件，其配置在所述第1密封部件的大氣側(cè)；以及氣體導(dǎo)入口，通過所述氣體導(dǎo)入口向所述第1密封部件與所述第2密封部件之間的空間內(nèi)導(dǎo)入惰性氣體或氮?dú)狻?/p>

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第二方面，其中，所述第2密封部件覆蓋從所述腔室的外表面上露出的所述腔室和所述絕緣部件之間的間隙。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第三方面，其中，所述放電激勵(lì)氣體激光裝置還具有：固定部件，其將所述絕緣部件和所述第2密封部件固定在所述腔室上。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第四方面，其中，所述氣體導(dǎo)入口貫穿所述固定部件和所述第2密封部件。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第五方面，其中，所述第2密封部件由至少2個(gè)相互分離的部分構(gòu)成。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第六方面，其中，所述放電激勵(lì)氣體激光裝置還具有：氣體導(dǎo)出口，通過所述氣體導(dǎo)出口導(dǎo)出所述第1密封部件與所述第2密封部件之間的所述空間內(nèi)的氣體。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第七方面，其中，所述第1密封部件是O型密封圈。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第八方面，其中，所述第2密封部件是柔性密封部件。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的第九方面，其中，所述放電激勵(lì)氣體激光裝置是準(zhǔn)分子激光裝置。