[實用新型]防晃動二次加料部件及單晶爐

有效

• 申請號: 202020187302.5
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號: CN212800601U
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 芮陽;馬成;王忠保
• 申請（專利權）人: 寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/02
• 分類號: C30B15/02;C30B29/06
• 代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103
• 代理人: 孫彥虎

1.一種防晃動二次加料部件，其特征在于：包括不等徑石英管、鉬桿、連接軸、錐形蓋體、支撐環，所述不等徑石英管的兩端部的內徑小于中間部的內徑，所述鉬桿的上端與連接軸連接，所述鉬桿的下端穿過不等徑石英管，所述鉬桿的下端與錐形蓋體的錐端連接，所述錐形蓋體相對錐端的一端面直徑不小于不等徑石英管的兩端部的內徑，所述支撐環的內徑等于不等徑石英管的外徑，所述支撐環套裝在不等徑石英管的外環壁上。

2.如權利要求1所述的防晃動二次加料部件，其特征在于：所述防晃動二次加料部件還包括導向環，所述導向環固定在不等徑石英管內側中間部，所述導向環為兩個，一個導向環靠近不等徑石英管的上端，另一個導向環靠近不等徑石英管的下端，所述導向環的內徑等于鉬桿的外徑，所述導向環的外徑小于不等徑石英管的內徑。

3.如權利要求2所述的防晃動二次加料部件，其特征在于：所述防晃動二次加料部件還包括壓蓋，所述壓蓋的外徑大于不等徑石英管的外徑，在壓蓋上設有豁口，所述豁口由壓蓋的邊緣沿其徑向延伸至壓蓋的圓心，所述豁口的寬度不小于鉬桿的外徑。

4.一種單晶爐，其特征在于：包括上爐體、隔離閥、下爐體、坩堝、提升機構、提拉頭以及如權利要求3所述的防晃動二次加料部件，所述上爐體安裝在隔離閥的上端，所述下爐體安裝在隔離閥的下端，所述坩堝安裝在下爐體內，在上爐體內設有提升機構，所述提升機構的伸縮端與提拉頭連接，所述提拉頭與連接軸連接，所述不等徑石英管的上端置于上爐體中，所述支撐環卡裝在上爐體內側的底部，以將不等徑石英管相對上爐體固定，所述不等徑石英管的下端穿過隔離閥、下爐體，以使不等徑石英管的下端位于坩堝的正上方。