[實用新型]儲架模塊有效

申請號：	202020117201.0	申請日：	2020-01-17
公開（公告）號：	CN211732147U	公開（公告）日：	2020-10-23
發明（設計）人：	簡呈儒;黃瑞廷;宋孟樵;謝貴如	申請（專利權）人：	迅得機械(東莞)有限公司
主分類號：	B65D6/08	分類號：	B65D6/08;B65D25/04;B65D25/10
代理公司：	北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139	代理人：	李林
地址：	523000 廣東省東莞市***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	模塊
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【說明書】：

本實用新型提供一種儲架模塊，由背架、復數個支撐桿以及復數個支撐板所構成，背架由復數個立桿與復數個橫桿所構成，橫桿連接于兩相鄰的立桿之間，進而固定兩相鄰的立桿之間距離，各支撐桿分別定位于各背架，使支撐桿形成橫向并排間隔狀，支撐板具有連接部以及連接部兩側同向延伸的抵靠部，各支撐板的抵靠部分別定位于前述兩相鄰支撐桿的支撐部表面，俾使搬運裝置僅須對其中之一支撐板的位置進行定位，即可準確對各支撐板進行晶圓盒取放。

技術領域

本實用新型涉及一種儲架模塊，尤指用以收納制造半導體元件用的基板的晶圓盒，并可減少自動搬運裝置定位次數的儲架模塊。

背景技術

在半導體的各項制程裝置中，為了能夠縮短處理時間以及提高處理量，以及縮短處理時間等目的，會在制程裝置內盡可能保管更多收納基板的晶圓盒(Front OpeningUnified Pod，FOUP)，利用制程裝置中所設置的搬運裝置(機械手臂)，將保管的晶圓盒移載進行處理，但目前保管晶圓盒的儲存架，由于儲存架上的儲存位置無法精確的定位，因此儲存架在使用前都必須一一的對各晶圓盒的儲存位置進行定位，才能使搬運裝置準確的存取儲存位置上的晶圓盒。

是以，要如何能使儲存架上的儲存位置具有精準的間距，使搬運裝置只需進行一次對位，即可精準的存取所有儲存位置上的晶圓盒，即為此行業相關業這所即欲改善的課題所在。

實用新型內容

本實用新型的主要目的乃在于，將儲架模塊用以供晶圓盒放置的支撐板，以固定間隔方式設置，俾使搬運裝置僅須對其中之一支撐板的位置進行定位，即可準確的對各支撐板進行晶圓盒取放。

為達上述目的，本實用新型提供一種儲架模塊，用以收納制造半導體元件用的基板的晶圓盒，其特征在于：該儲架模塊由背架、復數個支撐桿以及復數個支撐板所構成，其中：

該背架由復數個立桿與復數個橫桿所構成，該復數個立桿并排豎立設置，橫桿連接于兩相鄰的立桿之間，進而固定兩相鄰的立桿之間距離，且各立桿上設置有非圓形的定位孔；

該支撐桿具有支撐部以及支撐部一側所凸設的定位部，定位部外緣形狀相同于前述背架的定位孔，各支撐桿的定位部分別定位于各背架的定位孔內，使支撐桿形成橫向并排間隔狀；

該支撐板具有連接部以及連接部兩側同向延伸的抵靠部，各支撐板的抵靠部分別定位于前述兩相鄰支撐桿的支撐部表面。

其中：該背架設置有復數個定位片，定位片具有基部以及基部側方所延伸的延伸部，各定位片的基部以固定元件固定于立桿，使延伸部位于相鄰于該立桿的橫桿端部，并以固定元件將延伸部固定于該橫桿。

其中：該支撐板的連接部與抵靠部之間外側設置有缺槽，使立桿位于缺槽處，讓連接部進入于兩相鄰的立桿之間。

憑借上述結構，各支撐板的位置即會相距一定距離，搬運裝置只需針對部分支撐板進行定位后，即可依據該相距的距離得知所有支撐板的確定位置，進而可對所有支撐板進行晶圓盒存放。

附圖說明

圖1是本實用新型的立體外觀圖。