[實用新型]用于拋光盤裙邊止動機構

有效

• 申請號: 202020031565.7
• 申請日: 2020-01-07
• 公開（公告）號: CN211639485U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 楊兆明;顏凱;中原司
• 申請（專利權）人: 浙江芯暉裝備技術有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04;B24B55/00
• 代理公司: 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251
• 代理人: 曾勇

本實用新型提供了一種用于拋光盤裙邊止動機構，屬于機械技術領域。它解決了現有技術存在著穩定性差的問題。本用于拋光盤裙邊止動機構包括呈環形的裙邊，所述裙邊呈圓筒狀，上述本體位于裙邊內且本體固連在裙邊的上端口處，所述裙邊下部形成用于阻擋拋光盤處拋光液的阻擋部。本用于拋光盤裙邊止動機構穩定性高。

技術領域

本實用新型屬于機械技術領域，涉及一種用于拋光盤裙邊止動機構。

背景技術

目前單晶硅片的表面拋光基本原理是將待拋光工件在一定的壓力下及有拋光液存在的情況下，與拋光墊一起作旋轉運動，借助磨粒的機械磨削及化學氧化劑的腐蝕作用，完成對工件表面拋光。

在拋光時拋光液因拋光墊旋轉四處飛濺，拋光盤內部的防水密封就顯得尤為重要。

其中市面上的拋光盤外側通常安裝裙邊進行密封，但存在著裙邊不易拆卸、易松動的問題。

發明內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的上述問題，提供一種穩定性高其結構緊湊的用于拋光盤裙邊止動機構。

本實用新型的目的可通過下列技術方案來實現：

一種用于拋光盤裙邊止動機構，拋光盤包括呈圓盤狀的本體，其特征在于，本機構包括呈環形的裙邊，所述裙邊呈圓筒狀，上述本體位于裙邊內且本體固連在裙邊的上端口處，所述裙邊下部形成用于阻擋拋光盤處拋光液的阻擋部。

拋光時拋光液四處飛濺，本機構用于阻擋飛濺的拋光液。

具體而言，裙邊從側邊固鎖于本體，裙邊與本體間沒有縫隙，有效防止拋光液進入拋光設備內部。

在上述的用于拋光盤裙邊止動機構中，所述裙邊截面呈直線狀。

在上述的用于拋光盤裙邊止動機構中，所述裙邊下端口處具有加固結構。

在上述的用于拋光盤裙邊止動機構中，所述加固結構為圓筒狀的加固環，上述加固環固連在裙邊下端口處。

在上述的用于拋光盤裙邊止動機構中，所述加固環下端與裙邊下端相平齊。

通過加固環能有效提高裙邊下端處強度。

同時，加固環與裙邊下端平齊還能適當提高其結構緊湊性。

與現有技術相比，本用于拋光盤裙邊止動機構由于通過裙邊將拋光盤罩在其內，因此，拋光液受到裙邊阻擋無法飛濺出拋光盤，有效的提高了其穩定性。

同時，本體固連在裙邊內側，其結構還比較緊湊，具有很高的實用價值。

附圖說明

圖1是本用于拋光盤裙邊止動機構的剖視結構示意圖。

圖中，1、本體；2、裙邊；3、加固環。

具體實施方式

如圖1所示，拋光盤包括呈圓盤狀的本體1。

本用于拋光盤裙邊止動機構包括呈環形的裙邊2，所述裙邊2呈圓筒狀，上述本體1位于裙邊2內且本體1固連在裙邊2的上端口處，所述裙邊2下部形成用于阻擋拋光盤處拋光液的阻擋部。

所述裙邊2截面呈直線狀。

所述裙邊2下端口處具有加固結構。

所述加固結構為圓筒狀的加固環3，上述加固環3固連在裙邊2下端口處。

所述加固環3下端與裙邊2下端相平齊。

拋光時拋光液四處飛濺，本機構用于阻擋飛濺的拋光液。

具體而言，裙邊從側邊固鎖于本體，裙邊與本體間沒有縫隙，有效防止拋光液進入拋光設備內部。