[實(shí)用新型]一種雙頭吸嘴、雙頭頂針帽及雙頭頂針單元裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020009933.8
• 申請(qǐng)日: 2020-01-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210722987U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許兵;張敬元;樊增勇;袁根;譚斌;吳邦強(qiáng);鄧海昕
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 成都先進(jìn)功率半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所 51221
• 代理人: 陳令軒

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)，具體涉及一種雙頭吸嘴，包括吸嘴主體以及與吸嘴主體連接的吸嘴頭部，吸嘴頭部設(shè)有兩個(gè)吸孔，吸嘴主體的接口端與固晶機(jī)上的吸頭可拆卸連接；并基于此，還公開(kāi)了與雙頭吸嘴與之配套使用的雙頭頂針帽及雙頭頂針單元裝置。本實(shí)用新型針對(duì)原固晶機(jī)吸頭，保持吸嘴基座的安裝尺寸不變，增加吸嘴頭部吸孔的數(shù)量，能在相同運(yùn)動(dòng)行程及吸力的條件下，一次性吸取更多芯片，提高了工作效率，減少重復(fù)工作次數(shù)，延長(zhǎng)配件使用壽命，降低維護(hù)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)，特別是固晶機(jī)上的雙頭吸嘴、雙頭頂針帽及雙頭頂針單元裝置。

背景技術(shù)

在對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行封裝時(shí)，常使用銀漿固晶工藝，現(xiàn)有設(shè)備如圖1-4，基本工作流程是：將用于固定芯片的框架12放置在固晶機(jī)的工作臺(tái)上，在框架12的放置點(diǎn)處進(jìn)行點(diǎn)膠操作，然后通過(guò)吸嘴和頂針7的配套部件一吸、一頂將晶圓11上的芯片吸取到框架12上進(jìn)行固定。吸嘴吸取芯片過(guò)程中，吸嘴位于晶圓上方，頂針單元5位于晶圓下方；如圖2，頂針單元5包括頂針帽6、頂針7和頂針安裝座9；頂針7固定在頂針安裝座9上；吸嘴吸孔對(duì)準(zhǔn)待吸取芯片吸取的同時(shí)，頂針7將芯片頂出。當(dāng)吸嘴使用到一定的次數(shù)以后，芯片的擺放在角度上會(huì)有所偏差，需要進(jìn)行更換；與吸嘴配合使用的頂針，若位置定位不準(zhǔn)，也會(huì)影響到芯片的上吸，以致影響芯片擺放。

晶圓11上的半導(dǎo)體芯片極其微小，因此對(duì)固晶機(jī)的精度和準(zhǔn)確度要求極高。固晶機(jī)主要由主機(jī)控制系統(tǒng)和圖像識(shí)別處理系統(tǒng)組成。工作前，需要調(diào)整作業(yè)材料硅片的拾取參數(shù)、工作臺(tái)的放晶參數(shù)及頂針參數(shù)等參數(shù)，將固晶機(jī)吸頭10上的吸嘴、頂針7與其對(duì)應(yīng)的攝像頭的十字光標(biāo)要在同一直線上，過(guò)程繁瑣但十分必要。整套系統(tǒng)通常要求配套使用，精度高，價(jià)格昂貴。工作時(shí)，吸頭10上的吸嘴每次只能轉(zhuǎn)移一個(gè)芯片，重復(fù)工作量極高，易磨損，維護(hù)成本高，影響生產(chǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中固晶機(jī)吸頭上的吸嘴每次只能轉(zhuǎn)移一個(gè)芯片，重復(fù)工作量大而導(dǎo)致維護(hù)成本高的問(wèn)題，提供一種雙頭吸嘴，使得吸嘴仍能安裝在原固晶機(jī)吸頭上，但提高了工作效率，減少運(yùn)動(dòng)行程，延長(zhǎng)使用壽命，降低成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：

本實(shí)用新型提供一種雙頭吸嘴，用來(lái)吸起芯片和固定芯片；包括吸嘴主體以及與吸嘴主體連接的吸嘴頭部，吸嘴頭部設(shè)有兩個(gè)吸孔，吸嘴主體的接口端用于與固晶機(jī)上的吸頭可拆卸連接。針對(duì)原固晶機(jī)吸頭，保持吸嘴基座的安裝尺寸不變，增加吸嘴頭部吸孔的數(shù)量，能在相同運(yùn)動(dòng)行程及吸力的條件下，一次性吸取更多芯片，提高了工作效率，減少重復(fù)工作次數(shù)，延長(zhǎng)配件使用壽命，降低維護(hù)成本。

優(yōu)選地，吸嘴包括兩個(gè)與吸孔連接的通氣通道，在相同輸出吸力下，吸取芯片的吸孔各占有一個(gè)通氣通道，減小氣體的流通橫截面積，吸力的作用效果更顯著。

優(yōu)選地，吸嘴接口端與固晶機(jī)上的吸頭適配，可直接套接固定，也可選擇螺紋連接；優(yōu)選地，雙頭吸嘴為橡膠結(jié)構(gòu)，具有輕便、柔軟、有彈性的特性，易套接；材料來(lái)源廣泛，價(jià)格便宜，易取模加工。

優(yōu)選地，兩個(gè)吸孔中心間距為800-1200微米，適應(yīng)不同晶圓上的芯片間距。

此外，為了能與雙頭吸嘴配套使用，一次性頂出兩顆芯片，本實(shí)用新型還提供一種雙頭頂針帽，雙頭頂針帽包括兩個(gè)頂針孔，兩個(gè)頂針孔用于與雙頭吸嘴上的兩個(gè)吸孔的中心位置對(duì)應(yīng)；頂針帽用來(lái)防護(hù)頂針和對(duì)頂針位置進(jìn)行定位。

本實(shí)用新型還提供一種雙頭頂針單元裝置，包括上述雙頭頂針帽和頂針安裝座，雙頭頂針帽上設(shè)有兩個(gè)供頂針穿過(guò)的頂針孔，兩個(gè)頂針固定在頂針安裝座上，頂針安裝座設(shè)有固定頂針的兩個(gè)通道，雙頭頂針單元裝置與雙頭吸嘴配套使用，兩個(gè)頂針與雙頭吸嘴中吸孔位置對(duì)應(yīng)。