[發(fā)明專(zhuān)利]一種導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具及生長(zhǎng)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011640518.3
• 申請(qǐng)日: 2020-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112795982A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊紅基;賽青林;張龍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/34
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/34;C30B29/16
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 劉芙蓉

1.一種導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，沿所述模具寬度方向上，所述模具的頂端為曲面，所述曲面為凹型曲面，所述曲面為等溫或近似等溫曲面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述模具由鏡像對(duì)稱的第一夾板和第二夾板組成，所述第一夾板和第二夾板通過(guò)固定部固定在一起，所述第一夾板和第二夾板之間具有狹縫。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述第一夾板和第二夾板通過(guò)兩個(gè)鉚釘固定在一起，位于所述第一夾板和第二夾板之間的鉚釘上繞有線圈或套有環(huán)形墊片，所述線圈或環(huán)形墊片用于控制所述狹縫的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述兩個(gè)鉚釘之間間距小于等于35mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述狹縫的距離為0.1-0.5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述第一夾板的底端和第二夾板的底端均設(shè)置有可供原料流入狹縫的缺口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述模具為銥?zāi)＞呋蚝灥暮辖鹉＞摺?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)模法生長(zhǎng)大尺寸氧化鎵晶體的模具，其特征在于，所述模具頂端的兩外側(cè)、且沿寬度方向上均設(shè)置有臺(tái)階。

9.一種大尺寸氧化鎵晶體的生長(zhǎng)方法，其特征在于，包括步驟：

將權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的模具放置于裝有氧化鎵原料的坩堝內(nèi)；

將坩堝進(jìn)行加熱，進(jìn)行晶體的生長(zhǎng)，得到大尺寸氧化鎵晶體。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的大尺寸氧化鎵晶體的生長(zhǎng)方法，其特征在于，所述氧化鎵晶體的尺寸在4英寸以上。