[發明專利]一種基于微立體光刻技術制備柔性透明導電薄膜的方法

有效

• 申請號: 202011640019.4
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112768141B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 陳小明;王碩;邵金友;王春江;張潔;李祥明;田洪淼
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;B33Y30/00;B33Y80/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 楊曄

1.一種基于微立體光刻技術制備柔性透明導電薄膜的方法，其特征在于：具體步驟如下：

第一步：將潔凈襯底(3)置于微立體光刻3D打印系統的打印平臺上并固定，然后用可溶性光敏樹脂作為3D打印材料，在潔凈襯底(3)上打印具有溝槽結構(1)的可溶性光敏樹脂模具(2)；

第二步：使用醫用刮刀將導電漿料刮入可溶性光敏樹脂模具(2)的溝槽結構(1)中，填滿溝槽，然后將其置于60-80℃烘臺上加熱5-15分鐘，固化導電漿料，形成嵌入在可溶性光敏樹脂模具(2)中的導電網絡(4)；

第三步：將第二步中內部形成了導電網絡(4)的可溶性光敏樹脂模具(2)置于質量濃度1-3％的NaOH溶液中，浸泡1.5-2.5h，溶解可溶性光敏樹脂模具(2)，得到裸露在潔凈襯底(3)表面的導電網絡(4)，用去離子水輕輕沖洗殘余的NaOH溶液后，置于60-80℃的烘臺上加熱5-15分鐘烘干導電網絡(4)；

第四步：將第三步中得到的具有導電網絡(4)的潔凈襯底(3)置于勻膠機上旋涂3-5ml柔性透明聚合物(5)，旋涂參數為低速600-700rad/min，10-12s，高速1000-1200rad/min，30-40s，然后置于真空干燥箱中抽真空10-15分鐘，使導電網絡(4)完全嵌入在柔性透明聚合物(5)中，再置于75-85℃的真空干燥箱中加熱1-2h固化柔性透明聚合物(5)；

第五步：將第四步中得到的固化的柔性透明聚合物(5)從潔凈襯底(3)上揭下，其中導電網絡(4)完全嵌入在柔性透明聚合物(5)中，伴隨柔性透明聚合物(5)一起從潔凈襯底(3)上揭下，形成了柔性透明導電薄膜(6)。

2.根據權利要求1所述的一種基于微立體光刻技術制備柔性透明導電薄膜的方法，其特征在于：所述的第一步中潔凈襯底(3)為剛性潔凈襯底，包括硅片。

3.根據權利要求1所述的一種基于微立體光刻技術制備柔性透明導電薄膜的方法，其特征在于：所述的第一步中溝槽結構(1)的形狀結構通過用于微立體光刻技術的模型自由設計構建。

4.根據權利要求1所述的一種基于微立體光刻技術制備柔性透明導電薄膜的方法，其特征在于：所述的第二步中用于刮涂的導電漿料包括碳納米管溶液、石墨烯溶液、導電銀漿或液態金屬。

5.根據權利要求1所述的一種基于微立體光刻技術制備柔性透明導電薄膜的方法，其特征在于：所述的第四步中柔性透明聚合物(5)為能通過交聯反應從液態固化為固態，且固化后具有透明、柔性性質的聚合物，包括聚二甲基硅氧烷。