[發明專利]同時生產電子級硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的系統及方法

有效

• 申請號: 202011624573.3
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112624123B
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 陶剛義
• 申請（專利權）人: 內蒙古興洋科技股份有限公司
• 主分類號: C01B33/04
• 分類號: C01B33/04;C01B33/107
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 崔自京

1.同時生產電子級硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的系統，其特征在于，包括物料合成設備、粗分離設備、硅烷分離提純設備、一氯硅烷分離提純設備和二氯硅烷分離提純設備；

所述物料合成設備包括氫化系統，歧化塔一，氣體緩沖罐和歧化塔二；

所述氫化系統包括流化床；

所述歧化塔一、所述歧化塔二分別包括塔釜，每個所述塔釜內由頂部至底部依次設置精餾段、催化段和分餾段，所述精餾段與所述分餾段內安裝塔板，所述催化段內填充有叔胺類催化劑；每個所述塔釜上設置有加熱部件，并且所述塔釜頂部設置冷凝器；

所述歧化塔一的精餾段頂部連通所述氣體緩沖罐，催化段連通所述氫化系統，分餾段底部回流連通至所述氫化系統；

所述歧化塔二的催化段連通所述氣體緩沖罐，分餾段底部回流連通至所述歧化塔一的催化段；

所述粗分離設備為精餾設備，連通所述歧化塔二的精餾段頂部；

所述粗分離設備分離出的餾分通入所述硅烷分離提純設備、所述一氯硅烷分離提純設備和所述二氯硅烷分離提純設備進行分離純化；

所述粗分離設備包括粗分離精餾塔；

所述粗分離精餾塔底部設置加熱夾套、頂部安裝有冷凝器，并且所述粗分離精餾塔包覆有保溫層；

所述粗分離精餾塔塔頂連通所述硅烷分離提純設備，塔底連通所述一氯硅烷分離提純設備；并且所述粗分離精餾塔連通所述歧化塔二的精餾段頂部；

所述硅烷分離提純設備包括硅烷緩沖罐、硅烷精餾塔一、硅烷精餾塔二和硅烷儲罐；

所述硅烷緩沖罐分別與所述粗分離精餾塔塔頂和所述硅烷精餾塔一連通；

所述硅烷精餾塔一底部設置加熱夾套、頂部安裝有冷凝器，并且所述硅烷精餾塔一包覆有保溫層；所述硅烷精餾塔一塔底連通所述硅烷精餾塔二；

所述硅烷精餾塔二底部設置加熱夾套、頂部安裝有冷凝器，并且所述硅烷精餾塔二包覆有保溫層；所述硅烷精餾塔二塔頂連通硅烷儲罐，塔底回流連通至所述粗分離精餾塔；

所述一氯硅烷分離提純設備包括一氯硅烷精餾塔一、一氯硅烷精餾塔二、一氯硅烷精餾塔三和一氯硅烷儲罐；

所述一氯硅烷精餾塔一、所述一氯硅烷精餾塔二、所述一氯硅烷精餾塔三的底部分別設置加熱夾套、頂部分別安裝有冷凝器，并且所述一氯硅烷精餾塔一、所述一氯硅烷精餾塔二、所述一氯硅烷精餾塔三分別包覆有保溫層；

所述一氯硅烷精餾塔一與所述粗分離精餾塔塔底連通；并且所述一氯硅烷精餾塔一塔頂連通所述一氯硅烷精餾塔二，所述一氯硅烷精餾塔一塔底連通二氯硅烷分離提純設備；

所述一氯硅烷精餾塔二塔底連通至所述一氯硅烷精餾塔三；

所述一氯硅烷精餾塔三塔頂連通所述一氯硅烷儲罐，塔底回流連通至所述一氯硅烷精餾塔一；

所述二氯硅烷分離提純設備包括二氯硅烷精餾塔一、二氯硅烷精餾塔二、二氯硅烷精餾塔三和二氯硅烷儲罐；

所述二氯硅烷精餾塔一、所述二氯硅烷精餾塔二、所述二氯硅烷精餾塔三的底部分別設置加熱夾套、頂部分別安裝有冷凝器，并且所述二氯硅烷精餾塔一、所述二氯硅烷精餾塔二、所述二氯硅烷精餾塔三分別包覆有保溫層；

所述二氯硅烷精餾塔一與所述一氯硅烷精餾塔一塔底連通；并且所述二氯硅烷精餾塔一塔頂連通所述二氯硅烷精餾塔二，所述二氯硅烷精餾塔一塔底回流連通至所述歧化塔一催化段；

所述二氯硅烷精餾塔二塔底連通至所述二氯硅烷精餾塔三；

所述二氯硅烷精餾塔三塔頂連通所述二氯硅烷儲罐，塔底回流連通至所述二氯硅烷精餾塔一；

所述歧化塔一、所述歧化塔二、所述粗分離精餾塔、所述硅烷精餾塔一和所述硅烷精餾塔二頂部連接的冷凝器排放的氣體連通至尾氣處理裝置；

所述一氯硅烷精餾塔一、所述一氯硅烷精餾塔二和所述一氯硅烷精餾塔三頂部連接的冷凝器排放的氣體回流連通至所述粗分離精餾塔或連通至尾氣處理裝置；

所述二氯硅烷精餾塔一、所述二氯硅烷精餾塔二和所述二氯硅烷精餾塔三頂部連接的冷凝器排放的氣體回流連通至所述一氯硅烷精餾塔一或連通至尾氣處理裝置。

2.根據權利要求1所述的同時生產電子級硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的系統，其特征在于，

所述氫化系統還包括有溫度檢測裝置、壓力檢測裝置和除塵裝置；

所述除塵裝置用于在氣體排放至所述歧化塔一催化段前進行除塵處理。