[發明專利]一種半導體加工用清洗裝置

在審

• 申請號: 202011620408.0
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112827930A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 孫曉東
• 申請（專利權）人: 上海訊穎電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/04;B08B3/14;B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 上海微策知識產權代理事務所(普通合伙) 31333
• 代理人: 張靜

本發明公開了一種半導體加工用清洗裝置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的頂部安裝有烘干箱，所述烘干箱的一側安裝有出風口，所述烘干箱的另一側安裝有固定盒，且固定盒的一側貫穿烘干箱的內壁，所述底座的頂部安裝有固定桿，所述固定桿的頂部安裝有連接桿，所述連接桿的一側安裝有安裝架，所述安裝架的內部安裝有第一電機，所述第一電機的輸出端安裝有第一旋轉軸，所述第一旋轉軸的一端安裝有清洗倉，所述清洗倉的一側安裝有第二旋轉軸，所述第二旋轉軸的一端安裝有安裝板。本發明通過在底座的頂部安裝有烘干裝置，可以使烘干箱內的半導體進行烘干，從而可以使半導體可以更加快速的將水分烘干，從而可以提高工作效率。

技術領域

本發明涉及半導體加工技術領域，具體為一種半導體加工用清洗裝置。

背景技術

半導體是一種電導率在絕緣體至導體之間的物質，其電導率容易受控制，可作為信息處理的元件材料，從科技或是經濟發展的角度來看，半導體非常重要，很多電子產品，如計算機、移動電話、數字錄音機的核心單元都是利用半導體的電導率變化來處理信息，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業應用上最具有影響力的一種。

現有的半導體加工存在的缺陷是：

1、傳統的半導體加工清洗裝置在清洗半導體時，清洗不徹底還會殘留大量的污垢，而且清洗時間也非常緩慢。

2、傳統的半導體加工沒有安裝烘干裝置，清洗完之后半導體需要用太長的時間進行晾干，會導致工作的效率下降。

發明內容

本發明的目的在于提供一種半導體加工用清洗裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種半導體加工用清洗裝置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的頂部安裝有烘干箱，所述烘干箱的一側安裝有出風口，所述烘干箱的另一側安裝有固定盒，且固定盒的一側貫穿烘干箱的內壁，所述底座的頂部安裝有固定桿，所述固定桿的頂部安裝有連接桿，所述連接桿的一側安裝有安裝架，所述安裝架的內部安裝有第一電機，所述第一電機的輸出端安裝有第一旋轉軸，所述第一旋轉軸的一端安裝有清洗倉，所述清洗倉的一側安裝有第二旋轉軸，所述第二旋轉軸的一端安裝有安裝板。

優選的，所述底座的底部安裝有彈簧座，底座的底部安裝有連接件，且連接件位于彈簧座一側，連接件的內側安裝有移動輪。

優選的，所述固定盒的內部通過支桿安裝有馬達，馬達的輸出端安裝有轉動軸，轉動軸的一端安裝有風扇，固定盒的一側安裝有進風口，固定盒的內部安裝有加熱層。

優選的，所述清洗倉的內壁上安裝有防護層，清洗倉的底部安裝有出液口，出液口的內部安裝有過濾網，清洗倉的底部安裝有出料口且出料口位于出液口的一側。

優選的，所述第二旋轉軸的一端安裝有第二電機，第二電機的外部安裝有固定架。

優選的，所述安裝板的一側安裝有毛刷桿，毛刷桿的外側安裝有毛刷本體。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

1、本發明通過在清洗倉的內部安裝有攪拌裝置，通過攪拌裝置中的第二電機帶動毛刷桿轉動，通過毛刷桿的轉動從而可以使毛刷進行轉動，通過毛刷的在清洗倉內轉動，可以充分的將清洗倉內部的半導體進行清洗，可以使半導體可以清洗的更加干凈，通過第二電機帶動清洗倉進行轉動，攪拌裝置和清洗倉為相反的方向轉動，從而可以使半導體清洗的更加快速，從而提高工作效率，使清洗的更加快速。

2、本發明通過在底座的頂部安裝有烘干裝置，通過烘干裝置中的馬達帶動，風扇進行旋轉，通過風扇的旋轉，從而可以使外部的風進入烘干裝置中，風會經過加熱層，通過加熱層將風進行加熱，風扇再將加熱的風吹入烘干箱中，從而可以使烘干箱內的半導體進行烘干，從而可以使半導體可以更加快速的將水分烘干從而可以提高工作效率。

附圖說明