[發明專利]一種取晶用晶圓藍膜固定機構

有效

• 申請號: 202011609292.0
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112820685B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 向軍;封浩;馮霞霞;王金磊
• 申請（專利權）人: 江蘇新智達新能源設備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 陳章

1.一種取晶用晶圓藍膜固定機構，包括機架（1）和支撐環（2），所述機架（1）包括沿水平方向設置的安裝板（3），所述安裝板（3）中開設有安裝孔，所述支撐環（2）轉動安裝在所述安裝孔中，所述支撐環（2）的轉動軸心沿豎直方向設置，所述支撐環（2）中設有用于放置晶圓藍膜的擴晶環（4），其特征在于：

還包括頂桿（5）、第一電機（6）和支架（7），所述第一電機（6）固定安裝在所述支架（7）上，所述第一電機（6）的輸出軸沿水平方向設置，所述第一電機（6）的輸出軸上安裝有偏心輪（8），所述頂桿（5）沿豎直方向活動安裝在所述支架（7）上，并位于所述擴晶環（4）的下方，所述偏心輪（8）轉動能夠驅動所述頂桿（5）上下移動；所述支架（7）通過水平調節機構設置在所述機架（1）上，所述水平調節機構可驅動所述支架（7）在水平方向調節位置；

所述支撐環（2）的上方設有半分環（31），所述半分環（31）的數量為二個，二個所述半分環（31）通過豎直調節機構安裝在所述支撐環（2）上，所述豎直調節機構可驅動二個所述半分環（31）沿豎直方向移動，并將所述晶圓藍膜的中部張緊在所述擴晶環（4）上；

所述豎直調節機構包括活動環（32）和連接軸（33），所述活動環（32）套設在所述擴晶環（4）的外周，二個所述半分環（31）對稱安裝在所述活動環（32）上，所述活動環（32）上設有沿豎直方向設置的螺紋孔（321），所述連接軸（33）沿豎直方向設置，所述連接軸（33）的底部轉動安裝在所述支撐環（2）上，所述連接軸（33）的頂部設置有與所述螺紋孔（321）相配合的外螺紋（331），所述外螺紋（331）安裝在所述螺紋孔（321）中，所述連接軸（33）轉動能夠驅動所述活動環（32）上下移動，所述連接軸（33）和螺紋孔（321）的數量為均多個，多個所述連接軸（33）和螺紋孔（321）均沿周向設置；

所述豎直調節機構還包括第五電機（34）、連接架（35）和第一氣缸（36），所述第一氣缸（36）的缸體固定安裝在所述機架（1）上，所述第一氣缸（36）的活塞桿沿水平方向設置，并與所述連接架（35）固定連接，所述連接架（35）上設置有導桿（37），所述導桿（37）平行于所述第一氣缸（36）的活塞桿設置，所述機架（1）上設有與所述導桿（37）相配合的導套，所述導桿（37）插入所述導套中，并能沿所述導套滑動，所述第五電機（34）固定安裝在所述連接架（35）上，所述第五電機（34）的輸出軸上安裝有第一斜齒輪（38），所述支撐環（2）上轉動安裝有支撐軸（39），所述支撐軸（39）沿豎直方向設置，所述支撐軸（39）上固定安裝有第二斜齒輪（40），所述第二斜齒輪（40）與所述第一斜齒輪（38）嚙合設置，所述支撐軸（39）和多個所述連接軸（33）上均固定安裝有轉輪（41），多個轉輪（41）通過閉環傳動帶連接同步轉動。

2.如權利要求1所述的一種取晶用晶圓藍膜固定機構，其特征在于：所述水平調節機構包括橫向導軌（11）、橫向絲杠（12）、橫向滑塊（13）、第二電機（14）、縱向導軌（15）、縱向絲杠（16）、縱向滑塊（17）和第三電機（18），所述橫向導軌（11）沿水平方向固定安裝在所述機架（1）上，所述橫向絲杠（12）轉動安裝在所述橫向導軌（11）上，并平行于所述橫向導軌（11）設置，所述橫向滑塊（13）安裝在所述橫向絲杠（12）上，所述橫向絲杠（12）轉動能夠驅動所述橫向滑塊（13）沿所述橫向導軌（11）滑動，所述第二電機（14）固定安裝在所述機架（1）上，所述第二電機（14）的輸出軸與所述橫向絲杠（12）固定連接，并能驅動所述橫向絲杠（12）轉動；

所述縱向導軌（15）沿水平方向固定安裝在所述橫向滑塊（13）上，并垂直于所述橫向導軌（11）設置，所述縱向絲杠（16）安裝在所述縱向導軌（15）上，并平行于所述縱向導軌（15）設置，所述支架（7）固定安裝在所述縱向滑塊（17）上，所述縱向滑塊（17）安裝在所述縱向絲杠（16）上，所述縱向絲杠（16）轉動能夠驅動所述縱向滑塊（17）沿所述縱向導軌（15）移動，所述第三電機（18）固定安裝在所述縱向導軌（15）上，所述第三電機（18）的輸出軸與所述縱向絲杠（16）固定連接，并能驅動所述縱向絲杠（16）轉動。