[發明專利]自偏置磁電復合薄膜、制備工具、傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 202011607504.1 | 申請日： | 2020-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN112798992B | 公開（公告）日： | 2023-03-10 |
| 發明（設計）人： | 徐潔;張浩;楊舒雅;李昭君 | 申請（專利權）人： | 青島大學 |
| 主分類號： | G01R33/06 | 分類號： | G01R33/06 |
| 代理公司： | 長沙新裕知識產權代理有限公司 43210 | 代理人： | 劉加 |
| 地址： | 266100 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 偏置 磁電 復合 薄膜 制備 工具 傳感器 及其 方法 | ||
1.一種自偏置磁電復合薄膜，其特征在于，包括：磁致伸縮材料層和壓電材料層，所述磁致伸縮材料層和所述壓電材料層一體彎曲、固化為弧形；所述磁致伸縮材料層包括正磁致伸縮材料層和負磁致伸縮材料層，所述正磁致伸縮材料層設置在所述壓電材料層的外側，所述負磁致伸縮材料層設置在所述壓電材料層的內側；
所述正磁致伸縮材料層為金屬玻璃Metglas，所述壓電材料層為聚偏氟乙烯PVDF，所述負磁致伸縮材料層為鎳Ni；
所述弧形為正圓弧形狀。
2.一種自偏置磁電復合薄膜材料的制備工具，其特征在于，用于制備權利要求1所述的自偏置磁電復合薄膜，所述制備工具包括內管和外管，所述外管包括弧形單元，所述弧形單元用于夾緊在所述內管上，使得所述弧形單元的內表面與所述內管的外表面貼合。
3.根據權利要求2所述的制備工具，其特征在于，所述弧形單元包括第一弧形單元和第二弧形單元，所述第一弧形單元和第二弧形單元用于通過彈簧夾緊在所述內管上。
4.一種自偏置磁電復合薄膜的制備方法，其特征在于，包括：
將磁致伸縮材料層粘貼在壓電材料層上，放入權利要求2或3所述的制備工具中夾緊；
將所述制備工具放入干燥箱中使磁致伸縮材料層和壓電材料層固化，獲得權利要求1所述的自偏置磁電復合薄膜。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述磁致伸縮材料層包括正磁致伸縮材料層和負磁致伸縮材料層，所述將磁致伸縮材料層粘貼在壓電材料層上，包括：
分別將所述正磁致伸縮材料層和負磁致伸縮材料層粘貼在所述壓電材料層的上下兩側。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，在所述將磁致伸縮材料層粘貼在壓電材料層上之前，還包括：
在所述壓電材料層上下表面分別涂布一層導電層。
7.一種磁電傳感器，其特征在于，包括權利要求1所述的自偏置磁電復合薄膜。
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