[發明專利]一種浸沒控制單元的擾動力測量裝置

有效

• 申請號: 202011598053.X
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112781781B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 符文靜;王帥;胡歸;徐文蘋;徐寧;付新
• 申請（專利權）人: 浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: G01L11/00
• 分類號: G01L11/00;G03F7/20
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 林君勇

1.一種浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：包括基座、模擬物鏡機構、模擬襯底機構和力測量機構，模擬物鏡機構包括模擬物鏡和物鏡連接件，模擬物鏡通過物鏡連接件與基座固定連接在一起；模擬襯底機構包括襯底和承載襯底的襯底臺，浸沒控制單元設于襯底上方處，浸沒控制單元上方與力測量機構連接，力測量機構上端與基座相連接，力測量機構具有力測量器和調節力測量器位移的位移調節結構，力測量器設于模擬物鏡上方空間處；將浸沒控制單元定位至環繞模擬物鏡徑向外側以及位于襯底上方的位置，并且分別與模擬物鏡和襯底保持間隙；所述的力測量機構包括定位架、連接架、力測量器、連接座和安裝座，安裝座上端連接基座，安裝座底端與連接座相連接，連接座底端與力測量器相連接，力測量器底端面設連接架，連接架底端通過定位架與浸沒控制單元連接，定位架與浸沒控制單元間通過設置調節件實現連接，調節件能夠帶動浸沒控制單元發生位移，從而調節浸沒控制單元的位置和姿態；用于測量具有浸液供給和回收功能的浸沒控制單元受到的擾動力；所述的浸沒控制單元包括浸液供給開口、浸液回收開口以及朝向襯底的密封抽排開口；經浸液供給開口供給浸液，經浸液回收開口和密封抽排開口回收浸液，在模擬物鏡和襯底之間形成浸沒流場。

2.按照權利要求1所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的連接座和安裝座之間具有連接座相對于安裝座發生橫向或縱向位移調節變化的位移調節結構，用于調整力測量器的位移位置變化。

3.按照權利要求1所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的力測量器和浸沒控制單元具有同軸心的位置關系。

4.按照權利要求1或3所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的力測量器采用三軸力傳感器。

5.按照權利要求1所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的定位架通過3個周向均勻布置的調節件與浸沒控制單元連接。

6.按照權利要求1所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的連接架具有3個自中心部延伸的周向均勻布置的連接臂，連接架的中心部連接力測量器。

7.按照權利要求1或5所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的定位架具有環形結構。

8.按照權利要求1所述的浸沒控制單元的擾動力測量裝置，其特征在于：所述的襯底臺可以攜帶襯底在平面內運動。