[發(fā)明專利]一種晶圓加工磨邊設(shè)備

有效

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• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112720154B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林斌發(fā)
• 申請（專利權(quán)）人: 瑟德萊伯（嘉興）科技智造有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/00;B24B47/22;B24B55/06
• 代理公司: 嘉興倍創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33395
• 代理人: 鄭冰清

本發(fā)明公開了一種晶圓加工磨邊設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括工作臺、放置槽、支撐架、氣缸、打磨器、控制面板，工作臺上表面安裝有放置槽，并且工作臺上端面與支撐架底部相焊接，板體進行橫向移動，板體內(nèi)側(cè)表面對晶圓外側(cè)邊進行抵觸，通過晶圓外側(cè)邊與拋光板進行抵觸，對晶圓外側(cè)邊進行磨邊，磨邊過程中產(chǎn)生的顆粒進入到凹槽內(nèi)部，防止磨邊過程中析出的顆粒吸附在晶圓外側(cè)邊周邊，通過轉(zhuǎn)動塊下端的輔助滑球在定位塊進行轉(zhuǎn)動，定位塊保持定位不動，抵觸板下端對晶圓上端面中部進行抵觸，抵觸過程中通過扭力彈簧的轉(zhuǎn)動，使得抵觸板對晶圓中心部分進行抵觸支撐固定，避免晶圓在進行磨板的過程中發(fā)生位置偏移，防止晶圓磨邊過程中外側(cè)周邊受損。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓加工領(lǐng)域，更具體地說，尤其是涉及到一種晶圓加工磨邊設(shè)備。

背景技術(shù)

從大的方面來講，晶圓生產(chǎn)包括晶棒制造和晶片制造兩大步驟，剛切下來的晶片外邊緣很鋒利，硅單晶又是脆性材料，為避免邊角崩裂影響晶片強度、破壞晶片表面光潔和對后工序帶來污染顆粒，使用磨邊設(shè)備自動修整晶片邊緣形狀和外徑尺寸，但是由于磨邊的過程中，難以對晶圓外側(cè)周邊進行裝夾，將晶圓直接放置在磨邊框內(nèi)部，磨邊的過程中，磨邊片與晶圓之間產(chǎn)生一定的摩擦，并且晶圓外側(cè)周邊的顆粒析出同時吸附在晶圓外側(cè)周邊難以掉落，這時顆粒與磨邊片之間產(chǎn)生的摩擦力度增大，加大了磨邊片與晶圓之間的擠壓力，造成晶圓容易在磨邊框內(nèi)部發(fā)生偏移，從而導(dǎo)致晶圓磨邊過程中外側(cè)周邊受損。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實現(xiàn)技術(shù)目的所采用的技術(shù)方案是：該一種晶圓加工磨邊設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括工作臺、放置槽、支撐架、氣缸、打磨器、控制面板，所述工作臺上表面安裝有放置槽，并且工作臺上端面與支撐架底部相焊接，所述支撐架頂部設(shè)有氣缸，并且氣缸輸出端與打磨器上端相焊接，所述打磨器位于放置槽正上方，所述支撐架右端設(shè)有控制面板，所述打磨器包括外框、電機、轉(zhuǎn)動球、支桿、磨邊裝置，所述外框內(nèi)部固定安裝有電機，并且電機輸出端與磨邊裝置上部中端相焊接，所述轉(zhuǎn)動球采用間隙配合安裝在外框下端內(nèi)部，并且轉(zhuǎn)動球下端與支桿頂部相焊接，所述支桿下端與磨邊裝置上端面外側(cè)相焊接，所述轉(zhuǎn)動球和支桿均設(shè)有兩個，分別設(shè)在磨邊裝置上端與外框下端間隙連接處。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述磨邊裝置包括轉(zhuǎn)動盤、滑動框、頂簧、磨板機構(gòu)、定位抵觸裝置，所述轉(zhuǎn)動盤頂部中端隨著電機輸出端同步轉(zhuǎn)動，并且轉(zhuǎn)動盤下端內(nèi)部設(shè)有滑動框，所述滑動框內(nèi)部設(shè)有頂簧，并且磨板機構(gòu)上端滑動安裝在滑動框內(nèi)部，所述磨板機構(gòu)位于轉(zhuǎn)動盤下端外側(cè)，所述定位抵觸裝置固定安裝在轉(zhuǎn)動盤下端中部，所述滑動框、頂簧和磨板機構(gòu)均設(shè)有四個，分別設(shè)在轉(zhuǎn)動盤下端四個方位上。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述磨板機構(gòu)包括板體、滑動桿、緩沖貼合機構(gòu)，所述滑動桿貫穿于板體內(nèi)部中端，并且滑動桿上端滑動安裝在滑動框內(nèi)部，所述滑動桿與頂簧外側(cè)端相焊接，所述板體內(nèi)側(cè)下端設(shè)有緩沖貼合機構(gòu)，所述板體呈弧形結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述緩沖貼合機構(gòu)包括拋光板、凹槽、伸縮軟管，所述拋光板內(nèi)側(cè)表面嵌有凹槽，并且拋光板外側(cè)內(nèi)部通過伸縮軟管與板體內(nèi)側(cè)相連接，所述拋光板呈弧形結(jié)構(gòu)，利于與晶圓外側(cè)邊進行貼合抵觸，所述凹槽呈內(nèi)凹弧形結(jié)構(gòu)，所述伸縮軟管呈褶皺型結(jié)構(gòu)，并且采用橡膠材質(zhì)，具有一定的回彈性。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述定位抵觸裝置包括固定軸、轉(zhuǎn)動塊、輔助滑球、平衡桿、定位塊、外展機構(gòu)，所述固定軸內(nèi)部上端安裝有轉(zhuǎn)動塊，并且轉(zhuǎn)動塊頂部與轉(zhuǎn)動盤下端中部相固定，所述轉(zhuǎn)動塊下端固定安裝有輔助滑球，并且輔助滑球外側(cè)焊接有平衡桿，所述輔助滑球下端采用間隙配合安裝在定位塊上端內(nèi)部，并且平衡桿滑動安裝在定位塊內(nèi)部，所述定位塊下端設(shè)有外展機構(gòu)，所述平衡桿共設(shè)有四個，分別設(shè)在輔助滑球外側(cè)四個方位上。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述外展機構(gòu)包括固定盤、環(huán)桿、扭力彈簧、抵觸板，所述固定盤固定安裝在定位塊下端內(nèi)部，并且固定盤內(nèi)部設(shè)有環(huán)桿，所述環(huán)桿采用間隙配合貫穿于扭力彈簧內(nèi)部，并且扭力彈簧設(shè)在抵觸板上端外側(cè)，所述環(huán)桿采用間隙配合貫穿于抵觸板上端內(nèi)部，所述扭力彈簧共設(shè)有二十四個，并且兩個扭力彈簧為一組，分別設(shè)在抵觸板上端的左右兩側(cè)外部。