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[發(fā)明專利]一種甲基丙烯酸樹脂及其制備方法、光刻膠有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202011593458.4 申請日: 2020-12-29
公開(公告)號: CN112778449B 公開(公告)日: 2022-04-29
發(fā)明(設(shè)計)人: 陳鵬;馬瀟;顧大公;毛智彪;許從應(yīng) 申請(專利權(quán))人: 寧波南大光電材料有限公司
主分類號: C08F220/14 分類號: C08F220/14;C08F220/18;C08F2/06;G03F7/004
代理公司: 深圳盛德大業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44333 代理人: 左光明
地址: 315800 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 甲基丙烯酸 樹脂 及其 制備 方法 光刻
【權(quán)利要求書】:

1.一種甲基丙烯酸樹脂的制備方法,其特征在于,所述方法包括如下步驟:

將四氫呋喃和乙酸乙酯混合均勻形成混合溶劑;

在混合溶劑中加入甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯,溶解后加入引發(fā)劑,形成混合溶液;

在保護氣體中,將所述混合溶液在沸騰溫度下進行聚合反應(yīng);

其中,所述混合溶劑中四氫呋喃和乙酸乙酯的體積比為1:1;所述引發(fā)劑為過氧化苯甲酰;所述過氧化苯甲酰的添加量為所述甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯質(zhì)量之和的5%;所述甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯的比例為(1-10):(1-10):(1-10)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甲基丙烯酸樹脂的制備方法,其特征在于,在所述聚合反應(yīng)結(jié)束后,所述方法還包括:

將聚合反應(yīng)后的反應(yīng)液冷卻后,加入沉淀劑,進行目標產(chǎn)物的沉淀純化處理。

3.如權(quán)利要求2所述的甲 基丙烯酸樹脂的制備方法,其特征在于,所述沉淀劑為甲醇。

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