[發明專利]一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法有效
| 申請號: | 202011590106.3 | 申請日: | 2020-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN112744876B | 公開(公告)日: | 2022-05-31 |
| 發明(設計)人: | 董孟孟;呂燕飛;趙士超 | 申請(專利權)人: | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號: | C01G55/00 | 分類號: | C01G55/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 楊舟濤 |
| 地址: | 310018 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 螺旋線 形貌 硫化 顆粒 組裝 方法 | ||
1.一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于,該方法具體包括以下步驟:
步驟(1).取硫固體粉末1~5g,放入石英舟中,然后將裝有硫固體粉末的石英舟放入管式電爐中的石英管內;石英舟放置在石英管的中間位置;
步驟(2).將基底用去離子水清洗后氮氣吹干備用;將0.05-0.2mol/l的氯化鈀PdCl2鹽酸溶液,用移液管滴加至基底表面;然后將基底放置在石英管中,位置在載氣流向下游方向距石英舟20~25cm處;
步驟(3).開啟機械泵抽真空,同時向石英管中輸入載氣氬氫混合氣,其中氫氣的體積含量為5%,載氣流量為30~40sccm;管內溫度為室溫20-30℃,管內真空度為300~500Pa;通氣5-10分鐘;
步驟(4).將管式爐升溫至900~1000℃,升溫速率為20~30℃/min;溫度升至900~1000℃后保溫,保溫時間為60min~100min;
步驟(5).石英管停止加熱,將管式爐在室溫環境下冷卻到200-250℃,然后開啟管式爐,石英管在室溫下冷卻至室溫,然后取出基底,在基底上獲得硫化鈀球形顆粒自組裝圖案,圖案為的阿基米德螺線;顆粒尺寸50-500nm。
2.根據權利要求1所述的一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于:所述的步驟(1)中石英管為石英管或剛玉管,石英舟為石英舟或剛玉舟。
3.根據權利要求1所述的一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于:所述的步驟(1)中石英管內徑為1英寸。
4.根據權利要求1所述的一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于:所述的步驟(1)中硫固體粉末替換為能夠蒸發出硫的含硫鹽。
5.根據權利要求1所述的一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于:所述的步驟(2)中基底為表面生長有氧化層的硅片。
6.根據權利要求1所述的一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于:所述的步驟(2)中基底尺寸為2.5~3.5cm×1.5~2.0cm。
7.根據權利要求4所述的一種螺旋線形貌硫化鈀顆粒的自組裝方法,其特征在于:所述的能夠蒸發出硫的含硫鹽為硫化鉬、硫化鎢。
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