[發明專利]一種防止芯片測試圖形偏移的方法及系統

在審

• 申請號: 202011587752.4
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN112730248A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 虞君新
• 申請（專利權）人: 無錫圓方半導體測試有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種防止芯片測試圖形偏移的方法，其特征在于，該方法包括：

記錄始測點圖像：晶圓在初次上機正常測試前，確定好始測點后，在該始測點做上標記，并通過攝像裝置采集此時的始測圖形文件，然后將所述始測圖形文件存入存儲裝置；

自動校準位置：復測前，機臺首先調用正常測試Mapping圖形文件，上機后承面臺上方吸住圓片，設置在圓片上方的攝像裝置抓取此時的圖形文件；調取正常測試時存儲裝置中的始測圖形文件，然后掃描，查找始測點，將此時的圖形文件與所述始測圖形文件進行對比，通過計算單元計算位移量，并根據該位移量，通過調整裝置自動查找到始測點。

2.根據權利要求1所述的防止芯片測試圖形偏移的方法，其特征在于，所述晶圓在初次上機正常測試前，確定好始測點后，在該始測點做上標記，具體包括：晶圓在初次上機正常測試前，確定好始測點后，在該始測點打上墨點作為標記。

3.一種防止芯片測試圖形偏移的系統，其特征在于，該系統包括：攝像裝置、存儲裝置、計算單元以及調整裝置；所述攝像裝置用于：在晶圓在初次上機正常測試前，確定好始測點并在該始測點做上標記后，采集此時的始測圖形文件，并將所述始測圖形文件存入存儲裝置；在復測前，機臺調用正常測試Mapping圖形文件并且承面臺上方吸住圓片后，抓取此時的圖形文件；所述計算單元用于調取所述存儲裝置中存儲的始測圖形文件，然后掃描，查找始測點，將所述始測圖形文件與復測前抓取的圖形文件進行對比，計算位移量；所述調整裝置用于根據計算單元計算出的所述位移量，自動查找到始測點。

4.根據權利要求3所述的防止芯片測試圖形偏移的系統，其特征在于，所述在晶圓在初次上機正常測試前，確定好始測點并在該始測點做上標記，具體包括：在晶圓在初次上機正常測試前，確定好始測點并在該始測點打上墨點作為標記。