[發明專利]光學裝置和光學裝置測試方法

有效

• 申請號: 202011561451.4
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN113340808B
• 公開（公告）日: 2023-10-10
• 發明（設計）人: 杉山昌樹
• 申請（專利權）人: 富士通光器件株式會社
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G02B27/28;G02B27/42
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 劉久亮;黃綸偉

光學裝置和光學裝置測試方法。一種光學裝置，該光學裝置包括光電路和光學連接到光電路的測試電路。測試電路包括：第一光柵耦合器，其被配置為接收測試光；第二光柵耦合器，其被配置為輸出通過了第一光柵耦合器的測試光作為參考光；以及第一分支耦合器，其被連接到第一光柵耦合器的輸出。第一分支耦合器包括連接到光電路的輸入并且被配置為將來自第一光柵耦合器的測試光分支并輸出到光電路的第一輸出。此外，第一分支耦合器包括連接到第二光柵耦合器的輸入并且被配置為將來自第一光柵耦合器的測試光分支并輸出到第二光柵耦合器的第二輸出。

技術領域

本文討論的實施方式涉及光學裝置(optical device)和光學裝置測試方法。

背景技術

圖6是示出傳統測試系統200的示例的說明圖。圖6所示的測試系統200包括光芯片(optical chip)210和測試設備220。測試設備220包括第一光源221A、第一偏振控制器(polarization controller)222A、第二光源221B和第二偏振控制器222B。

例如，第一光源221A是發出與接收光(reception light)相對應的第三測試光的光源。第一偏振控制器222A使來自第一光源221A的第三測試光偏振，并且通過使用光纖230A將經偏振的第三測試光輸出到光芯片210內的接收光端口212。需要注意，第一偏振控制器222A控制第三測試光的偏振以生成TE偏振(TE-polarization)的第三測試光或TM偏振(TM-polarization)的第三測試光。第二偏振控制器222B使來自第二光源221B的第四測試光偏振，并且通過使用光纖230B將經偏振的第四測試光輸出到光芯片210內的本地光端口211。需要注意，第二偏振控制器222B控制第四測試光的偏振以生成TM偏振的第四測試光或TE偏振的第四測試光。接收光端口212和本地光端口211設置在光芯片210的側面端部。

例如，光芯片210是諸如數字相干接收部件的IC芯片。光芯片210是從晶片切割出的光芯片。光芯片210包括本地光端口211、接收光端口212、BS(分束器，Beam Splitter)213、PBS(偏振分束器)214和PR(偏振旋轉器，Polarization Rotator)215。此外，光芯片210包括第一光混合電路(first optical hybrid circuit)216A、第二光混合電路216B、第一PD(光電二極管)217A至第四PD 217D以及第一輸出端口218A至第四輸出端口218D。

本地光端口211形成在光芯片210內的側面端部中，并且例如是接收本地光或與本地光相對應的第四測試光的端口。需要注意，當晶片被切割為芯片時，本地光端口211暴露于光芯片210的側面端部。接收光端口212形成在光芯片210內的側面端部中，并且是接收接收光或與接收光相對應的第三測試光的端口。需要注意，當晶片被切割為芯片時，接收光端口212暴露于光芯片210的側面端部。BS 213將來自本地光端口211的本地光分路并輸出到第一光混合電路216A和第二光混合電路216B。PBS 214將從接收光端口212輸入的接收光分成諸如X偏振分量和Y偏振分量的彼此正交的兩個偏振模式。需要注意，X偏振分量是水平偏振分量，并且Y偏振分量是垂直偏振分量。PBS 214將來自接收光的X偏振分量輸出到第一光混合電路216A。此外，PR 215將來自PBS 214的接收光的Y偏振分量輸出到第二光混合電路216B。

第一光混合電路216A使本地光與接收光的X偏振分量發生干涉(interfere)以獲取I分量和Q分量的光信號。需要注意，I分量是同相分量，并且Q分量是正交分量(quadrature component)。第一光混合電路216A將X偏振分量中的I分量的光信號輸出到第一PD 217A。第一光混合電路216A將X偏振分量中的Q分量的光信號輸出到第二PD 217B。

第二光混合電路216B使本地光與接收光的Y偏振分量發生干涉以獲取I分量和Q分量的光信號。第二光混合電路216B將Y偏振分量中的I分量的光信號輸出到第三PD 217C。第二光混合電路216B將Y偏振分量中的Q分量的光信號輸出到第四PD 217D。