[發明專利]工件的清洗裝置以及清洗方法

在審

• 申請號: 202011551803.8
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN113053779A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 若杉勝郎
• 申請（專利權）人: 勝高股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;王麗輝

1.一種工件的清洗裝置，其具備：

第1固定體，具有向鉛垂方向延伸的筒狀的第1筒狀部以及覆蓋該第1筒狀部的上部的蓋部；

筒狀的第2固定體，具有比所述第1固定體的所述第1筒狀部更大的直徑，在內部收納所述第1固定體的所述第1筒狀部；

旋轉體，具有：第2筒狀部，具有比所述第1固定體的所述第1筒狀部更大且比所述第2固定體更小的直徑；旋轉臺，配置在該第2筒狀部的上部；以及工件保持體，設置在該旋轉臺的表面，保持清洗對象的工件，所述第2筒狀部配置在所述第1固定體的所述第1筒狀部與所述第2固定體之間，該旋轉體通過所述第1固定體的所述第1筒狀部與所述旋轉體之間的空隙中配置的上下一對第1軸承以及所述第2固定體與所述旋轉體的所述第2筒狀部之間的空隙中配置的上下一對第2軸承，旋轉自如地支承于所述第1固定體及所述第2固定體；

上部噴嘴，向所述工件表面噴射清洗液；以及

下部噴嘴，配置在所述第1固定體內部的同時，固定在所述蓋部，向所述工件背面噴射清洗液，

所述工件的清洗裝置的特征在于，具備：

排氣口，設置在所述第1固定體，用于將所述第1固定體與所述旋轉體之間的空隙中的氣體從所述空隙排出；

排氣管，配置在所述第1固定體內，一端連接到所述排氣口；以及

抽吸機構，連接到所述排氣管的另一端，抽吸所述第1固定體與所述旋轉體之間的空隙中的氣體。

2.根據權利要求1所述的工件的清洗裝置，其中，

所述排氣口設置在比所述第1軸承上側的軸承更高的位置。

3.根據權利要求2所述的工件的清洗裝置，其中，

所述排氣口設置在所述第1筒狀部及所述蓋部這兩者中。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的工件的清洗裝置，其中，

在相同的高度位置上，向周向等間隔設置有4個以上的排氣口。

5. 一種工件的清洗方法，其利用權利要求1～4中任一項所述的工件的清洗裝置清洗工件的兩面，所述工件的清洗方法包括：

清洗工序，一邊以第1轉速旋轉所述旋轉體使所述工件旋轉，一邊從所述上部噴嘴向所述工件表面噴射清洗液的同時，從所述下部噴嘴向所述工件背面噴射清洗液，以清洗所述工件的兩面；以及

干燥工序，以比所述第1轉速更高的第2轉速旋轉所述旋轉體，使清洗后的所述工件干燥，

所述工件的清洗方法的特征在于：

在所述干燥工序中的至少所述工件的轉速為600rpm以上的期間，驅動所述抽吸機構，從所述排氣口排出所述第1固定體與所述旋轉體之間的空隙中的氣體。

6.根據權利要求5所述的工件的清洗方法，其中，

所述工件是硅晶圓。