[發(fā)明專利]基板運(yùn)送裝置及具有其的基板處理系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011536417.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN113130361A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 河先鎬;孫德鉉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 王達(dá)佐;王艷春

1.一種基板運(yùn)送裝置，包括：

運(yùn)送單元，用于運(yùn)送基板；以及

冷卻板，用于控制所述運(yùn)送單元的溫度，

其中，所述冷卻板與所述運(yùn)送單元的側(cè)面隔開設(shè)置成側(cè)壁，或與所述運(yùn)送單元的側(cè)面貼合設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)送裝置，其中，在所述冷卻板的內(nèi)部設(shè)置有供冷卻水流動(dòng)的通道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述冷卻板包括：

第一板部件；

第二板部件，與所述第一板部件結(jié)合；以及

通道，形成于所述第一板部件與所述第二板部件之間的空間中，并且供冷卻水流動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述通道設(shè)置為插入到所述第一板部件與所述第二板部件之間的空間中的管，或者設(shè)置為形成于所述第一板部件和所述第二板部件中的至少一個(gè)部件的至少一個(gè)表面上的槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板運(yùn)送裝置，其中，當(dāng)所述槽形成于所述第一板部件上時(shí)，所述槽形成于所述第一板部件的、在所述第一板部件與所述第二板部件結(jié)合時(shí)與所述第二板部件接觸的表面上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板運(yùn)送裝置，其中，當(dāng)所述槽形成于所述第二板部件上時(shí)，所述槽形成于所述第二板部件的、在所述第一板部件與所述第二板部件結(jié)合時(shí)與所述第一板部件接觸的表面上。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)送裝置，其中，在所述通道上設(shè)置有導(dǎo)熱膏、導(dǎo)熱墊和導(dǎo)熱脂中的至少一者。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述通道形成為之字形態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述第一板部件和/或所述第二板部件通過使用向外部釋放從所述通道散發(fā)出的冷氣的物質(zhì)作為材料來制造。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述冷卻板還包括：

泵，向所述通道供應(yīng)所述冷卻水；以及

閥，打開和關(guān)閉所述通道，以控制所述冷卻水的流動(dòng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述冷卻板還設(shè)置在所述運(yùn)送單元的下方。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)送裝置，其中，當(dāng)所述冷卻板與所述運(yùn)送單元的側(cè)面貼合設(shè)置時(shí)，所述冷卻板利用形成于所述冷卻板上的第一突出部與形成于所述運(yùn)送單元上的第二突出部的結(jié)合來設(shè)置，并且所述第一突出部和所述第二突出部具有不同的高度。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)送裝置，其中，當(dāng)所述冷卻板與所述運(yùn)送單元的側(cè)面貼合設(shè)置時(shí)，所述冷卻板利用形成于所述冷卻板和所述運(yùn)送單元中的任一者上的突出部與形成于另一者上的槽的結(jié)合來設(shè)置，并且所述突出部和所述槽具有相同的高度。

14.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板運(yùn)送裝置，其中，所述冷卻水是工藝?yán)鋮s水。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)送裝置，還包括：

導(dǎo)引軌道，提供所述運(yùn)送單元的移動(dòng)路徑；以及

支承塊，結(jié)合于所述導(dǎo)引軌道的上部，支承所述運(yùn)送單元，并沿著所述導(dǎo)引軌道滑動(dòng)。

16.一種基板運(yùn)送裝置，包括：

運(yùn)送單元，用于運(yùn)送基板；以及

冷卻板，用于控制所述運(yùn)送單元的溫度，

其中，所述冷卻板與所述運(yùn)送單元的側(cè)面隔開設(shè)置成側(cè)壁，或與所述運(yùn)送單元的側(cè)面貼合設(shè)置，

在所述冷卻板的內(nèi)部設(shè)置有供冷卻水流動(dòng)的通道，以及

在所述通道上設(shè)置有導(dǎo)熱膏、導(dǎo)熱墊和導(dǎo)熱脂中的至少一者。