[發明專利]顯影裝置及其應用方法、顯示面板在審
| 申請號: | 202011534501.X | 申請日: | 2020-12-23 |
| 公開(公告)號: | CN112631088A | 公開(公告)日: | 2021-04-09 |
| 發明(設計)人: | 楊威 | 申請(專利權)人: | TCL華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/30 | 分類號: | G03F7/30 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 | 代理人: | 劉泳麟 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯影 裝置 及其 應用 方法 顯示 面板 | ||
1.一種顯影裝置,其特征在于,包括:
顯影腔室;
補水機構,具有至少一補水管以及設于所述補水管上的電子開關,所述補水管連通至所述顯影腔室內;
傳感器,安裝至所述顯影腔室的底部,所述傳感器用以獲取所述顯影腔室的濕度;以及
控制器,所述傳感器和所述補水機構的電子開關分別連接至所述控制器,當所述控制器從所述傳感器獲取所得的所述顯影腔室的濕度低于第一預設值時,所述控制器控制所述電子開關打開,通過補水管向所述顯影腔室補水;當所述控制器從所述傳感器獲取所得的所述顯影腔室的濕度高于第二預設值時,所述控制器控制所述電子開關關閉,停止向所述顯影腔室補水。
2.如權利要求1所述的顯影裝置,其特征在于,
所述傳感器高出所述顯影腔室的底部3~8毫米。
3.如權利要求1所述的顯影裝置,其特征在于,所述傳感器具有指示燈,
當所述指示燈發出藍色光線時,所述控制器控制所述電子開關打開,通過所述補水管向所述顯影腔室內補水;
當所述指示燈發出紅色光線時,所述控制器控制所述電子開關關閉,停止向所述顯影腔室內補水。
4.如權利按要求1所述的顯影裝置,其特征在于,
所述顯影腔室具有一入口,所述補水管的出水口設于所述顯影腔室的入口的底部。
5.如權利按要求1所述的顯影裝置,其特征在于,
所述第一預設值為所述顯影腔室中初始濕度的95%。
6.如權利要求1所述的顯影裝置,其特征在于,
所述第二預設值為所述顯影腔室中初始濕度的105%。
7.一種顯影裝置的應用方法,其特征在于,包括以下步驟:
將一基板傳入至如權利按要求1~6中任一項所述的顯影裝置的顯影腔室內;
通過傳感器檢測所述顯影腔室的濕度;
通過控制器控制補水機構中的電子開關,當所述控制器從所述傳感器獲取所得的所述顯影腔室的濕度低于第一預設值時,所述控制器控制所述電子開關打開,通過補水管向所述顯影腔室補水;當所述控制器從所述傳感器獲取所得的所述顯影腔室的濕度高于第二預設值時,所述控制器控制所述電子開關關閉,停止向所述顯影腔室補水;以及
對所述基板進行顯影處理。
8.如權利要求7所述的顯影裝置的應用方法,其特征在于,通過傳感器檢測所述顯影腔室的濕度包括以下步驟:
當所述傳感器上的指示燈發出藍色光線時,所述控制器控制所述電子開關打開,通過所述補水管向所述顯影腔室補水;
當所述傳感器上的指示燈發出紅色光線時,所述控制器控制所述電子開關關閉,停止向所述顯影腔室補水。
9.如權利要求7所述的顯影裝置的應用方法,其特征在于,
所述第一預設值為所述顯影腔室初始濕度的95%;
所述第二預設值為所述顯影腔室初始濕度的105%。
10.一種顯示面板,其特征在于,其由如權利要求7~9中任一項所述的顯影裝置的應用方法制備而成。
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