[發(fā)明專(zhuān)利]一種內(nèi)嵌式的面板結(jié)構(gòu)及其制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011525914.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112652650A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳宇懷;黃志杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/32
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/32;H01L21/77;G06F3/044;G06F3/041
• 代理公司: 福州市景弘專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

本發(fā)明公開(kāi)了一種內(nèi)嵌式的面板結(jié)構(gòu)及其制作方法：制作第一透光導(dǎo)電層和柵極金屬層，制作第一絕緣層；去除基板區(qū)上第一絕緣層，去除透光電容區(qū)上的上部分第一絕緣層；去除第一透光導(dǎo)電層和柵極金屬層；灰化處理第一絕緣層，蝕刻?hào)艠O金屬層，去除第一絕緣層；制作第二絕緣層；制作有源層；制作第二透光導(dǎo)電層和源漏極金屬層，制作第三絕緣層；去除基板區(qū)以及有源層中部上方的第三絕緣層；去除透光電容區(qū)上的上部分第三絕緣層；去除第二透光導(dǎo)電層和源漏極金屬層；去除第三絕緣層；蝕刻源漏極金屬層；去除第三絕緣層。通過(guò)增設(shè)透光電容區(qū)，使發(fā)光層可以不設(shè)空白避讓區(qū)，光線直接從透光電容區(qū)射出，從而可以縮小單個(gè)像素面積，提高顯示區(qū)域開(kāi)口率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及觸控顯示屏領(lǐng)域，尤其涉及一種內(nèi)嵌式的面板結(jié)構(gòu)及其制作方法。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的日益發(fā)展，各種新型技術(shù)不斷涌現(xiàn)，透明顯示技術(shù)因其透明的顯示面板這一特性及其獨(dú)特的應(yīng)用，越來(lái)越受到人們的關(guān)注，薄型化及透明化顯示是未來(lái)顯示發(fā)展的趨勢(shì)。

目前應(yīng)用在AMOLED面板中觸控技術(shù)主要分為Out-Cell、In-Cell和On-Cell三種類(lèi)型。外掛式觸控技術(shù)(Out-cell)是由觸控廠商主導(dǎo)，該技術(shù)主要可分為玻璃方式和薄膜方式，將觸控感應(yīng)器位于蓋板玻璃和顯示模組中間，缺點(diǎn)是厚度較厚，不符合顯示器輕薄化的發(fā)展方向。

In-Cell將觸控模塊內(nèi)嵌于AMOLED面板中，On Cell是指將觸摸屏嵌入到顯示屏和偏光片之間的方法，即在顯示面板上配觸摸傳感器；In-Cell節(jié)省了玻璃成本和貼合成本，使得模組重量輕，透光度高，更滿(mǎn)足顯示面板對(duì)品質(zhì)的要求。但是將觸控傳感器嵌入到像素中的同時(shí)也必須將配套的觸控集成電路嵌入其中，否則很容易導(dǎo)致錯(cuò)誤的觸控感測(cè)訊號(hào)或者過(guò)大的噪音，制程工藝的復(fù)雜度和難度巨大。OLED中有機(jī)層均采用蒸鍍法附膜，技術(shù)要求高、難度大，所以良率也較低，在蒸鍍結(jié)構(gòu)中再增加一層觸控IC必將進(jìn)一步降低良率，故當(dāng)前OLED面板內(nèi)嵌式觸控尚待突破。

開(kāi)口率指除去每一個(gè)次像素的配線部、晶體管部(通常采用黑色矩陣隱藏)后的光線通過(guò)部分的面積和每一個(gè)次像素整體的面積之間的比例。開(kāi)口率越高，光線通過(guò)的效率越高。當(dāng)光線經(jīng)由背光板發(fā)射出來(lái)時(shí)，并不是所有的光線都能穿過(guò)面板，比如給LCD源極驅(qū)動(dòng)芯片及柵極驅(qū)動(dòng)芯片用的信號(hào)走線，以及TFT本身，還有儲(chǔ)存電壓用的儲(chǔ)存電容等。這些地方除了不完全透光外，也由于經(jīng)過(guò)這些地方的光線不受電壓控制，而無(wú)法顯示正確的灰階，所以都需利用black matrix(黑底)加以遮蔽，以免干擾其它透光區(qū)域。而有效的透光區(qū)域與全部面積的比例就稱(chēng)之為開(kāi)口率。

發(fā)明內(nèi)容

為此，需要提供一種內(nèi)嵌式的面板結(jié)構(gòu)及其制作方法，提高面板的開(kāi)口率，同時(shí)縮減面板厚度。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N內(nèi)嵌式的面板結(jié)構(gòu)的制作方法，包括步驟：

將基板分為透光電容區(qū)、TFT區(qū)和基板區(qū)；

在所述基板上依次制作第一透光導(dǎo)電層和柵極金屬層，并于所述柵極金屬層上制作第一絕緣層；

曝光顯影去除所述基板區(qū)上的所述第一絕緣層，并去除透光電容區(qū)上的上部分所述第一絕緣層；

蝕刻去除基板區(qū)上的所述第一透光導(dǎo)電層和柵極金屬層；

通過(guò)灰化處理去除透光電容區(qū)上剩余的所述第一絕緣層，蝕刻透光電容區(qū)上的所述柵極金屬層；

去除位于所述TFT區(qū)上的第一絕緣層；

制作第二絕緣層；并于所述第二絕緣層上制作有源層，所述有源層位于所述柵極金屬層上方；

依次制作第二透光導(dǎo)電層和源漏極金屬層，并于源漏極金屬層上制作第三絕緣層；

曝光顯影去除所述基板區(qū)以及所述有源層中部上方的所述第三絕緣層；并去除透光電容區(qū)上的上部分所述第三絕緣層；