[發(fā)明專利]分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011514796.4
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN113637957A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪再和
• 申請（專利權(quán)）人: 洪再和
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 張燕華;許志影

1.一種分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，包括：

一電漿源產(chǎn)生裝置，包含：

一第一外殼，包含有一射頻電源輸入端、一第一交流電源輸入端、一進(jìn)氣口及一電漿釋放口；

一電漿室，設(shè)置在該第一外殼內(nèi)，并與該進(jìn)氣口及該電漿釋放口連通；以及

一匹配網(wǎng)絡(luò)，設(shè)置在該第一外殼內(nèi)，與該射頻電源輸入端及該第一交流電源輸入端電性連接，并與該電漿室耦接；

一射頻電源供應(yīng)裝置，包含有：

一第二外殼，包含有一射頻電源輸出端；以及

一射頻電源電路，設(shè)置于該第二外殼內(nèi)，并電性連接至該射頻電源輸出端；以及

一射頻電源線，電性連接至該電漿源產(chǎn)生裝置的射頻電源輸入端及該射頻電源供應(yīng)裝置的射頻電源輸出端。

2.如權(quán)利要求1所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該匹配網(wǎng)絡(luò)的第一交流電源輸入端連接至一交流電源。

3.如權(quán)利要求1或2所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，

該第二外殼包含有一第二交流電源輸入端，以電性連接至該交流電源；

該射頻電源電路電性連接至該第二交流電源輸入端。

4.如權(quán)利要求3所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該射頻電源電路產(chǎn)生一高頻的射頻電源，該高頻的射頻電源范圍為2MHz至13.56MHz。

5.如權(quán)利要求4所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該高頻的射頻電源為一高頻的變頻射頻電源。

6.如權(quán)利要求1或2所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該匹配網(wǎng)絡(luò)包含：

一電源電路，連接至該第一交流電源輸入端，將該交流電源轉(zhuǎn)換為直流電源；以及

一匹配網(wǎng)絡(luò)單元，電性連接至該電源電路，并由多個(gè)固定阻抗元成組成。

7.如權(quán)利要求6所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該些固定阻抗元件包含電感器及電容器。

8.如權(quán)利要求3所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該匹配網(wǎng)絡(luò)包含：

一電源電路，連接至該第一交流電源輸入端，將該交流電源轉(zhuǎn)換為直流電源；以及

一匹配網(wǎng)絡(luò)單元，電性連接至該電源電路，并由多個(gè)固定阻抗元成組成。

9.如權(quán)利要求8所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該些固定阻抗元件包含電容器。

10.如權(quán)利要求9所述的分離式遠(yuǎn)端電漿源設(shè)備，其特征在于，該固定阻抗元件包含電感器。