[發明專利]半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統及方法

有效

• 申請號: 202011507684.6
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112612307B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 宋朝陽;馮濤;常鑫;董春輝;芮守禎;何茂棟;曹小康
• 申請（專利權）人: 北京京儀自動化裝備技術股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 陳新生

本發明提供一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統及方法，所述系統包括負載可編程邏輯控制器、負載人機界面、負載裝置、溫控可編程邏輯控制器、溫控人機界面和溫控設備；負載裝置由加熱器、流量檢測開關、溫度保護開關、接觸器和固態繼電器組成；溫控設備包括制冷系統和循環系統；制冷系統由壓縮機、冷凝器、蒸發器和電子膨脹閥組成；循環系統由循環泵、加熱器、流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、循環液箱和管路組成。本發明提供的半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統及方法，將半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制，解決了溫控設備帶負載測試無法聯動，以及同步根據設定溫度的變化改變負載功率的技術問題。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統及方法。

背景技術

溫控設備運行時，需要長時間帶載運行，帶載運行驗證溫控設備性能。同時溫控設備運行溫度、運行時間、帶載功率不同。根據溫控設備運行不同溫度段的要求，設計了一套負載裝置，負載裝置端加熱器與溫控設備循環管路連接，加熱功率增大，進入溫控設備循環管路入口的溫度會升高。溫控設備設定不同溫度段運行及設定運行時間，負載裝置根據溫控設備溫度段運行時間自動切換負載裝置端的加熱器功率，實現自動、長周期連續完成測試工作，使溫控設備滿足晶圓或面板生產的工藝的需求。

半導體溫控設備作為生產半導體的輔助設備，在晶圓和液晶面板的制程工藝中需要輸出不同的溫度，同時在維持溫度的過程中需要控制一定的制冷量以抵消工藝過程中的熱負荷，提供高精度、穩定的循環液入口溫度。

現有技術中，半導體專用溫控設備和負載裝置相互獨立運行，溫控設備帶負載測試無法聯動，以及同步根據設定溫度的變化改變負載功率。

發明內容

本發明提供一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統及方法，用以解決現有技術中的上述技術問題。

本發明提供一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統，包括負載可編程邏輯控制器、負載人機界面、負載裝置、溫控可編程邏輯控制器、溫控人機界面和溫控設備；

負載裝置由加熱器、流量檢測開關、溫度保護開關、接觸器和固態繼電器組成；

溫控設備包括制冷系統和循環系統；

制冷系統由壓縮機、冷凝器、蒸發器和電子膨脹閥組成；

循環系統由循環泵、加熱器、流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、循環液箱和管路組成。

根據本發明提供的一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統，溫控設備運行時，通過溫控人機界面設定運行溫度范圍區間-40-150℃，分20個區間溫度，設定溫控設備運行時間。

根據本發明提供的一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統，負載裝置運行時，通過負載人機界面設定運行溫度區間-40-150℃，分20個區間溫度，設定負載加熱器功率。

根據本發明提供的一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統，所述加熱器由多個加熱棒組成。

根據本發明提供的一種半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統，所述溫控人機界面和所述溫控設備分別與所述溫控可編程邏輯控制器連接；

所述負載人機界面和所述負載裝置分別與所述負載可編程邏輯控制器連接；

所述溫控可編程邏輯控制器與所述負載可編程邏輯控制器連接。

本發明還提供一種上述半導體專用溫控設備與負載裝置聯動控制系統的聯動控制方法，包括：

通過負載人機界面設定負載加熱器功率；

根據設定的負載加熱器功率確定固態繼電器占空比輸出；

通過固態繼電器控制加熱器的加熱量。