[發明專利]螺旋電感器及無源集成電路

在審

• 申請號: 202011503658.6
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN113013332A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 中村浩
• 申請（專利權）人: 三安日本科技株式會社
• 主分類號: H01L49/02
• 分類號: H01L49/02;H01L27/01
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 史瞳;謝瓊慧

1.一種螺旋電感器，其特征在于：所述螺旋電感器包含基板及設置于所述基板的螺旋配線，所述螺旋配線的一部分包括分割配線部，所述分割配線部從俯視視角看被分割成多個互相并聯的配線，所述分割配線部設置于所述螺旋配線的內側，在所述分割配線部的線路中，分割配線部內外的配線是間隔著第二絕緣層交錯設置，使分割配線部內側的配線在交錯后成為外側的配線，且分割配線部外側的配線在交錯后成為內側的配線。

2.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：所述螺旋配線在最內側的部分設有所述分割配線部。

3.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：所述螺旋配線從俯視視角看包括多個分割數量不同的所述分割配線部，在所述分割配線部中，位于內側的分割配線部的分割數量較多。

4.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：在所述螺旋配線中，最外側的分割配線部具有多個通過所述第二絕緣層層疊的配線，所述層疊的配線互相串聯。

5.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：所述螺旋配線通過第一絕緣層形成于所述基板上。

6.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：所述螺旋配線的圈數大于或等于三。

7.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：所述分割配線部的并聯配線的間距小于所述螺旋配線的間距。

8.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：分割配線部的交錯位置位于分割配線部的中間區域。

9.根據權利要求1所述的螺旋電感器，其特征在于：螺旋配線的卷線圖案為矩形、菱形、多邊形、橢圓形或圓形。

10.一種無源集成電路，其特征在于：所述無源集成電路包含至少一個根據權利要求1至9中任一權利要求所述的螺旋電感器，與具有金屬-絕緣體-金屬結構的電容器。