[發明專利]一種三氟化氮生產中電解液轉運槽

在審

• 申請號: 202011500382.6
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN112575341A
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 馬朝選;紀振紅;王振宇;林坤;趙志剛;賈煒冬;趙勇琪;張延遠
• 申請（專利權）人: 中船重工（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司
• 主分類號: C25B1/245
• 分類號: C25B1/245;C25B15/08
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 溫子云

本發明公開了一種三氟化氮生產中電解液轉運槽，包括槽體，槽體的底部壁內設有多個安裝槽，每個安裝槽內均設有用于給槽體內電解液加熱的電熱絲，電熱絲與控制機構電連接；所述槽體的上端面設有電機，所述槽體內設有用于攪拌電解液的攪拌機構；所述電機的轉軸貫穿槽體內連接所述攪拌機構，為攪拌機構提供動力；所述槽體的壁內嵌設有多根互相連通的加熱水管，加熱水管連接設置在槽體外部的熱水循環供應組件；熱水循環供應組件通過第一傳動組件連接提供所需動力的電機。使用本發明能夠在槽體內的電解液溫度低時自動加溫，同時還能通過熱水循環進行電解液的保溫。

技術領域

本發明涉及三氟化氮制備領域技術領域，尤其涉及一種三氟化氮生產中電解液轉運槽。

背景技術

三氟化氮在微電子工業中用作一種優良的等離子蝕刻氣體。在三氟化氮生產中需要電解液，當這就需要用到三氟化氮生產中電解液轉運槽。

電解液轉運槽主要用于三氟化氮生產中正常電解液轉運，或電解槽突發泄漏時臨時存儲電解液，防止環境污染，降低生產損失，同時現有的電解液的轉運過程中需要保持其溫度，避免熱量損失電解液凝固，所以需要一種保溫性能良好的三氟化氮生產中電解液轉運槽來滿足這一條件。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種三氟化氮生產中電解液轉運槽，其能夠在槽體內的電解液溫度低時自動加溫，同時還能通過熱水循環進行電解液的保溫。

為了解決上述技術問題，本發明是這樣實現的。

一種三氟化氮生產中電解液轉運槽，包括槽體，槽體上貫穿設有進料管線、出液管線和放氣閥門；所述槽體的內側壁上設有防腐層；所述槽體的外側壁上設有保溫層；所述槽體的底部壁內設有多個安裝槽，每個安裝槽內均設有用于給槽體內電解液加熱的電熱絲，電熱絲與控制機構電連接；

所述槽體的上端面設有電機，所述槽體內設有用于攪拌電解液的攪拌機構；所述電機的轉軸貫穿槽體內連接所述攪拌機構，為攪拌機構提供動力；

所述槽體的壁內嵌設有多根互相連通的加熱水管，加熱水管連接設置在槽體外部的熱水循環供應組件；熱水循環供應組件通過第一傳動組件連接提供所需動力的電機。

優選地，所述控制機構包括控制器以及設置在槽體內的溫度感應器；所述溫度感應器、控制器與電熱絲電性連接并串聯有電源。

優選地，所述攪拌機構包括固定連接在槽體內的動力箱，所述動力箱內設置有第二齒輪以及兩個與第二齒輪嚙合的第一齒輪；

所述電機的輸出軸與第二齒輪同軸固連；兩個第一齒輪分別與一個動力軸同軸固連；電機輸出軸和兩根動力軸均貫穿動力箱，三個軸均勻布局在槽體內空間；兩根動力軸與電機的輸出軸上均設有攪拌葉。

優選地，熱水循環供應組件包括水箱、泵水機構和加熱裝置；水箱通過進水管連接泵水機構，泵水機構通過出水管連接加熱裝置，加熱裝置的熱水輸出管道連接槽體內的所述加熱水管的入口；所述加熱水管的出口通過連接管道連接水箱；泵水機構的動力輸入軸通過所述第一傳動組件連接電機。

優選地，所述泵水機構包括安裝筒、密封滑動連接在安裝筒內的活塞；所述安裝筒一側通過所述進水管連接所述水箱，另一側通過所述出水管連接所述加熱裝置；所述進水管與出水管內均設有單向閥；活塞的桿部通過第二傳動組件連接動力輸入軸。

優選地，所述泵水機構進一步包括安裝板，安裝板上固定安裝有轉軸安裝塊、和所述安裝筒；所述動力輸入軸貫穿轉軸安裝塊并可轉動；動力輸入軸上固定連接有蝸桿；

安裝板上可轉動的安裝三個相互嚙合的齒輪，位于中間的齒輪稱為第三齒輪，位于左右的兩個齒輪稱為第四齒輪；第三齒輪同軸固連與所述蝸桿相配合的蝸輪；兩個第四齒輪分別同軸固連一個半齒輪；

所述活塞的桿部伸出安裝筒固定連接齒板，齒板與兩個半齒輪相嚙合；兩個半齒輪朝向相同，交替與齒板嚙合。