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[發(fā)明專利]一種HF/HCl混合氣體高純度高收率的FTrPSA分離與凈化提取方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202011490452.4 申請日: 2020-12-16
公開(公告)號: CN112591711B 公開(公告)日: 2022-05-20
發(fā)明(設(shè)計)人: 汪蘭海;鐘婭玲;鐘雨明;陳運;唐金財;蔡躍明 申請(專利權(quán))人: 浙江天采云集科技股份有限公司
主分類號: B01D53/047 分類號: B01D53/047;C01B7/07;C01B7/19
代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230 代理人: 軒勇麗
地址: 314400 浙江省嘉興市海寧*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 hf hcl 混合氣體 純度 收率 ftrpsa 分離 凈化 提取 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種HF/HCl混合氣體高純度高收率的FTrPSA分離與凈化提取方法,其特征在于,具體包括以下步驟:

(1)準(zhǔn)備原料氣:準(zhǔn)備氟化氫與氯化氫的混合氣體,混合氣體中還含有其他雜質(zhì);常溫常壓或微正壓;

(2)中溫變壓吸附:原料氣經(jīng)增壓至0.2~0.3MPa、熱交換至60~120℃后進(jìn)入由兩段變壓吸附組成的中溫變壓吸附工序;其中,每段變壓吸附至少有2個吸附塔,并且至少1個吸附塔處于吸附狀態(tài),其余的吸附塔處于降壓、逆放/抽真空、升壓及終充的不同階段的解吸狀態(tài),原料氣從處于吸附狀態(tài)的第一段變壓吸附的吸附塔底部進(jìn)入,從其頂部流出非吸附相的粗HCl氣體,進(jìn)入到HCl吸收,從處于逆放/抽真空狀態(tài)的第一段變壓吸附的吸附塔底部流出吸附相的解吸氣,經(jīng)增壓后從處于吸附狀態(tài)的第二段變壓吸附的吸附塔底部進(jìn)入,從其頂部流出非吸附相的中間氣體,返回至處于吸附狀態(tài)的第一段變壓吸附的吸附塔底部進(jìn)入,進(jìn)一步回收有效組分HCl與HF,從處于逆放/抽真空狀態(tài)的第二段變壓吸附吸附塔底部流出非吸附相的濃縮氣體,經(jīng)冷卻冷凝形成的第一不凝氣體與粗HCl氣體混合,進(jìn)入到HCl吸收工序,而經(jīng)冷卻冷凝形成的粗HF液,進(jìn)入到后續(xù)的HF精餾工序;

(3) HCl吸收:來自中溫變壓吸附工序的粗HCl氣體與第一不凝氣體的混合氣體,進(jìn)入到由HCl液為吸收劑的吸收塔,操作溫度為30~80℃,操作壓力為0.01~0.2MPa,混合氣體從吸收塔底部進(jìn)入與至上而下的吸收劑進(jìn)行逆向傳質(zhì),從吸收塔頂逸出第二不凝氣體,進(jìn)入后續(xù)的尾氣吸收工序,從吸收塔底流出的富HCl吸收液,進(jìn)入HCl精制;

(4) HCl精制:來自HCl吸收工序的富HCl吸收液進(jìn)入由HCl精餾塔與HCl真空塔組成的HCl精制工序,從HCl精餾塔頂部餾出的輕組分第三不凝氣體,進(jìn)入到后續(xù)的尾氣吸收工序,從HCl精餾塔底部餾出的中間組分,再進(jìn)入到HCl真空塔,從其塔頂餾出純度大于或等于99.99%的HCl產(chǎn)品氣,其中,一部分HCl產(chǎn)品氣經(jīng)液化后成為HCl液體,作為吸收劑返回至HCl吸收工序循環(huán)使用,從其塔底餾出的重組分液體,作為后續(xù)尾氣吸收工序的吸收劑使用;

(5) HF精餾:來自中溫變壓吸附工序的粗HF液體,進(jìn)入由上下兩段精餾組成的HF精餾工序,粗HF液體或從下段精餾的頂部或從上段精餾的底部進(jìn)入,從上段精餾塔頂餾出的輕組分雜質(zhì)氣體為第四不凝氣體,進(jìn)入尾氣吸收,從上段精餾的底部或從下段精餾的頂部餾出物經(jīng)冷凝后所形成的第五不凝氣體為無水HF氣體,純度大于或等于99.99%,直接作為電子級HF產(chǎn)品氣,經(jīng)冷凝后所形成的液體,作為上段或下段精餾的回流,從下段精餾的底部餾出的含少量重組分雜質(zhì)組分的塔底物流體作為吸收劑進(jìn)入后續(xù)的尾氣吸收工序使用;

(6)尾氣吸收:來自HF精餾工序的第四不凝氣體與來自HCl吸收工序的第二不凝氣體及來自HCl精餾工序的第三不凝氣體混合后形成不凝混合氣,進(jìn)入由來自HF精餾工序的塔底物流體及來自HCl精制工序重組份液體并新補(bǔ)硫酸所形成的混合液為吸收劑的尾氣吸收塔,不凝混合氣從吸收塔底流入,與至上而下的吸收劑進(jìn)行逆向傳質(zhì),從吸收塔頂逸出第六不凝氣體,符合排放要求而作為排放氣直接排放,從吸收塔底流出的吸收液為粗氟硅酸混合液,作為氟硅酸法制備HF工藝的原料使用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種HF/HCl混合氣體高純度高收率的FTrPSA分離與凈化提取方法,其特征在于,步驟(1)中的雜質(zhì)包括水、二氧化碳、二氧化硫、四氟化硅及惰性氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種HF/HCl混合氣體高純度高收率的FTrPSA分離與凈化提取方法,其特征在于,步驟(2)中的中溫變壓吸附工序是由兩段變壓吸附組成,原料氣從處于吸附狀態(tài)的第一段變壓吸附的吸附塔底進(jìn)入,從其塔頂流出的非吸附相的中間氣體直接進(jìn)入處于吸附狀態(tài)的第二段變壓吸附的吸附塔的底部,從其塔頂流出的粗HCl氣體進(jìn)入HCl吸收工序,而從處于逆放/抽真空解吸狀態(tài)的第一段變壓吸附的吸附塔底部流出的解吸氣與從處于逆放/抽真空解吸狀態(tài)的第二段變壓吸附的吸附塔底流出的濃縮氣體混合,并經(jīng)冷卻冷凝形成的第一不凝氣體與粗HCl氣體再混合后進(jìn)入到HCl吸收工序,而經(jīng)冷卻冷凝形成的粗HF液進(jìn)入到HF精餾工序。

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