[發明專利]一種晶圓檢測移動平臺

在審

• 申請號: 202011482895.9
• 申請日: 2020-12-15
• 公開（公告）號: CN112526311A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 梅力;胡冬云
• 申請（專利權）人: 江蘇卓玉智能科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種晶圓檢測移動平臺，包括底座和滑動座，所述底座上安裝平行設置的第一滑軌和第二滑軌，底座上還安裝第三滑軌，且第三滑軌設置于第一滑軌和第二滑軌之間，第一滑軌兩端安裝第一擋塊，且第一滑軌端部與第一擋塊之間通過第一鎖緊螺栓固定，第二滑軌兩端安裝第二擋塊，且第二滑軌端部與第二擋塊之間通過第二鎖緊螺栓固定，底座上方安裝滑動座，本發明結構設計新穎，操作方便，能夠實現對晶圓的前后和左右移動，能夠提高晶圓檢測效率。

技術領域

本發明涉及晶圓檢測技術領域，具體為一種晶圓檢測移動平臺。

背景技術

目前的晶圓檢測用移動平臺結構單一，工作效率低，因此，有必要進行改進。

發明內容

本發明的目的在于提供一種晶圓檢測移動平臺，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種晶圓檢測移動平臺, 包括底座和滑動座，所述底座上安裝平行設置的第一滑軌和第二滑軌，所述底座上還安裝第三滑軌，且所述第三滑軌設置于所述第一滑軌和所述第二滑軌之間，所述第一滑軌兩端安裝第一擋塊，且所述第一滑軌端部與所述第一擋塊之間通過第一鎖緊螺栓固定，所述第二滑軌兩端安裝第二擋塊，且所述第二滑軌端部與所述第二擋塊之間通過第二鎖緊螺栓固定，所述底座上方安裝滑動座。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，所述滑動座下端面安裝平行設置的第一滑塊、第二滑塊和第三滑塊，所述第三滑塊設置于第一滑塊和第二滑塊之間，所述第一滑塊與第一滑軌滑動連接，所述第二滑塊與第二滑軌滑動連接，所述第三滑塊與第三滑軌滑動連接。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，所述滑動座上端面一側安裝第四滑軌，所述第四滑軌兩端通過設置第三擋塊，所述第四滑軌端部與第三擋塊之間通過第三鎖緊螺栓固定。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，所述滑動座上方安裝晶圓放置平臺，所述晶圓放置平臺下端面一側安裝第四滑塊，所述第四滑塊與第四滑軌滑動連接。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，所述晶圓放置平臺上端面安裝晶圓夾緊定位裝置。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，所述底座包括上平臺和下平臺，所述上平臺和下平臺之間安裝多組減震機構。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，每組所述的減震機構包括第一安裝塊、第二安裝塊、第一導向柱、第二導向柱、第一碟簧和第二碟簧，所述第一安裝塊安裝于上平臺下端面，所述第二安裝塊安裝于下平臺上端面，所述第一導向柱和第二導向柱安裝于第一安裝塊和第二安裝塊之間，所述第一碟簧安裝于第一導向柱外部，所述第二碟簧安裝于第二導向柱外部。

優選的，本申請提供的一種晶圓檢測移動平臺，其中，其使用方法包括以下步驟：

A、將晶圓放置于晶圓放置平臺，并通過晶圓夾緊定位裝置進行定位并夾緊；

B、控制滑動座左右移動調節晶圓位置；

C、同時控制滑動座沿著底座前后移動調節晶圓位置，位置調整后進行檢測作業。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明結構設計新穎，操作方便，能夠實現對晶圓的前后和左右移動，能夠提高晶圓檢測效率；其中，本發明采用的底座具有優異的減震和緩沖性能，能夠提高滑動座滑動時的穩定性，進一步提高晶圓檢測精度。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；

圖2為本發明底座結構示意圖；