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[發(fā)明專利]一種熔融石英元件的損傷閾值預(yù)測方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202011470608.2 申請日: 2020-12-14
公開(公告)號: CN112683865B 公開(公告)日: 2022-05-13
發(fā)明(設(shè)計)人: 張增明;王鶴;代如成;王中平 申請(專利權(quán))人: 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
主分類號: G01N21/64 分類號: G01N21/64;G01N21/65;G01N21/958
代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 代理人: 李曉光
地址: 230026 安*** 國省代碼: 安徽;34
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 熔融 石英 元件 損傷 閾值 預(yù)測 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種熔融石英元件的損傷閾值預(yù)測方法,其特征在于,所述損傷閾值預(yù)測方法包括:

提供一待測熔融石英元件;

測量所述待測熔融石英元件的熒光信號和拉曼散射信號;

基于所述熒光信號,獲取缺陷熒光峰;

基于所述拉曼散射信號,獲取拉曼散射峰;

基于所述缺陷熒光峰的面積和所述拉曼散射峰的面積進(jìn)行歸一化處理;

基于歸一化處理結(jié)果,預(yù)測所述待測熔融石英元件的損傷閾值;

所述基于所述缺陷熒光峰的面積和所述拉曼散射峰的面積進(jìn)行歸一化處理,包括:獲取所述缺陷熒光峰的面積與所述拉曼散射峰的面積的比值;

所述基于歸一化處理結(jié)果,預(yù)測所述待測熔融石英元件的損傷閾值,包括:

獲取歸一化處理結(jié)果與損傷閾值的對應(yīng)關(guān)系;

基于所述歸一化處理結(jié)果,結(jié)合所述對應(yīng)關(guān)系,預(yù)測所述待測熔融石英元件的損傷閾值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的損傷閾值預(yù)測方法,其特征在于,所述測量所述待測熔融石英元件的熒光信號和拉曼散射信號,包括:

采用顯微共聚焦拉曼光譜儀,同時測量所述待測熔融石英元件的熒光信號和拉曼散射信號。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的損傷閾值預(yù)測方法,其特征在于,所述顯微共聚焦拉曼光譜儀的空間分辨率為5微米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的損傷閾值預(yù)測方法,其特征在于,所述拉曼散射峰為硅-氧鍵環(huán)狀結(jié)構(gòu)的拉曼散射峰。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的損傷閾值預(yù)測方法,其特征在于,所述損傷閾值為50%概率發(fā)生損傷的最高激光能量密度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的損傷閾值預(yù)測方法,其特征在于,所述損傷閾值預(yù)測方法還包括:

依據(jù)所述缺陷熒光峰,獲取所述待測熔融石英元件的缺陷密度。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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