[發(fā)明專利]水聽器及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011446222.8
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112697262B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張永平;曾懷望
• 申請（專利權(quán)）人: 聯(lián)合微電子中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01H11/08
• 分類號: G01H11/08
• 代理公司: 北京市漢坤律師事務(wù)所 11602
• 代理人: 初媛媛;吳麗麗

本公開提供一種水聽器及其制造方法。該水聲器包括：水聲感應(yīng)薄膜，被配置為感應(yīng)施加到水聲感應(yīng)薄膜的第一表面上的水聲壓力；壓電薄膜，位于水聲感應(yīng)薄膜的第二表面上，第二表面與第一表面相對；聲表面波諧振器，位于壓電薄膜的背離水聲感應(yīng)薄膜的表面上；以及正面密封結(jié)構(gòu)，位于壓電薄膜的背離水聲感應(yīng)薄膜的表面上，正面密封結(jié)構(gòu)形成容納聲表面波諧振器的空腔并密封聲表面波諧振器。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種水聽器及其制造方法。

背景技術(shù)

隨著對水下探測能力的要求不斷提高，對水聽器的性能要求也越來越苛刻，許多應(yīng)用場景都對水聽器的體積重量等參數(shù)有較為嚴(yán)格的要求。

現(xiàn)有SAW水聽器均為正面感應(yīng)聲壓，為了解決聲表面波在固液交界面聲能損耗的問題并同時(shí)兼顧聲壓的傳遞，正面裝配有懸空的壓力板，這既增大了傳感器體積又增加了制造難度。而且，還需要通過特殊定制的夾具或支撐件來實(shí)現(xiàn)感應(yīng)膜的懸空，這也導(dǎo)致體積增大、制造難度增加。

發(fā)明內(nèi)容

提供一種緩解、減輕或者甚至消除上述問題中的一個(gè)或多個(gè)的機(jī)制將是有利的。

根據(jù)本公開的一些實(shí)施例，提供了一種水聽器，包括：水聲感應(yīng)薄膜，被配置為感應(yīng)施加到水聲感應(yīng)薄膜的第一表面上的水聲壓力；壓電薄膜，位于水聲感應(yīng)薄膜的第二表面上，第二表面與第一表面相對；聲表面波諧振器，位于壓電薄膜的背離水聲感應(yīng)薄膜的表面上；以及正面密封結(jié)構(gòu)，位于壓電薄膜的背離水聲感應(yīng)薄膜的表面上，正面密封結(jié)構(gòu)形成容納聲表面波諧振器的空腔并密封聲表面波諧振器。

根據(jù)本公開的一些實(shí)施例，還提供了一種水聽器的制造方法，包括：提供第一襯底；在第一襯底的第一表面上形成壓電薄膜；在壓電薄膜的背離第一襯底的表面上形成聲表面波諧振器；在第一襯底的第二表面對應(yīng)于聲表面波諧振器的區(qū)域形成第一凹槽，從而得到水聲感應(yīng)薄膜，其中，第二表面與第一表面相對；提供第二襯底；在第二襯底的第一表面對應(yīng)于聲表面波諧振器的區(qū)域形成第二凹槽，從而得到正面密封結(jié)構(gòu)；以及將正面密封結(jié)構(gòu)與水聲感應(yīng)薄膜進(jìn)行鍵合，以使得聲表面波諧振器被密封在第二凹槽內(nèi)。

根據(jù)在下文中所描述的實(shí)施例，本公開的這些和其它方面將是清楚明白的，并且將參考在下文中所描述的實(shí)施例而被闡明。

附圖說明

在下面結(jié)合附圖對于示例性實(shí)施例的描述中，本公開的更多細(xì)節(jié)、特征和優(yōu)點(diǎn)被公開，在附圖中：

圖1是根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的水聽器的制造方法的流程圖；

圖2A至圖2J是根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的在水聽器的制造方法的各個(gè)步驟中所形成的水聽器的示例結(jié)構(gòu)的剖面示意圖；

圖3是根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的水聽器的剖面示意圖；以及

圖4是根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的聲表面波諧振器的俯視示意圖。

具體實(shí)施方式

將理解的是，盡管術(shù)語第一、第二、第三等等在本文中可以用來描述各種元件、部件、區(qū)、層和/或部分，但是這些元件、部件、區(qū)、層和/或部分不應(yīng)當(dāng)由這些術(shù)語限制。這些術(shù)語僅用來將一個(gè)元件、部件、區(qū)、層或部分與另一個(gè)元件、部件、區(qū)、層或部分相區(qū)分。因此，下面討論的第一元件、部件、區(qū)、層或部分可以被稱為第二元件、部件、區(qū)、層或部分而不偏離本公開的教導(dǎo)。