[發明專利]工藝調度方法及其工藝調度系統

在審

• 申請號: 202011442145.9
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN113610332A
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發明（設計）人: 隋珍玉;尹又生;談文毅
• 申請（專利權）人: 聯芯集成電路制造(廈門)有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q10/10;G06N3/12
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 徐協成

本發明公開了一種工藝調度方法及其工藝調度系統。所述工藝調度方法包括判斷多個材料在多個設備的多個權重化處理時間；利用一遺傳算法，依據所述多個權重化處理時間計算多個目標循環時間；以及依據所述多個目標循環時間，將所述多個材料分配至所述多個設備。

技術領域

本發明涉及工藝(process)調度方法及其工藝調度系統，并且更具體而言，涉及可提高生產效率的工藝調度方法及其工藝調度系統。

背景技術

在材料(例如半導體元件)的工藝(process，有時又稱之為“制程”)過程中，需要執行多個工藝步驟，且需要利用多個站點的多個設備來依次執行。并且，在一個站點內，可能存在多個/多批材料需要被處理。因此，如何將材料分配至一個站點的多個設備，并最大化設備的產能且達成工藝調度的全域優化，即成為重要課題。

發明內容

為了解決上述的問題，本發明主要提供一種工藝調度方法及其工藝調度系統，以提高生產效率。

本發明公開一種工藝調度方法。所述工藝調度方法包括判斷多個材料在多個設備的多個權重化處理時間；利用一遺傳算法，依據所述多個權重化處理時間計算多個目標循環時間；以及依據所述多個目標循環時間，將所述多個材料分配至所述多個設備。

本發明另公開一種工藝調度系統。所述工藝調度系統包括一存儲器以及一處理電路。所述存儲器用來存儲的一指令包括判斷多個材料在多個設備的多個權重化處理時間；利用一遺傳算法，依據所述多個權重化處理時間計算多個目標循環時間；以及依據所述多個目標循環時間，將所述多個材料分配至所述多個設備。所述處理電路，耦接至所述存儲器，用來執行存儲在所述存儲器的所述指令。

附圖說明

圖1為本發明實施例一工藝調度系統的示意圖。

圖2為本發明實施例的一工藝調度方法的流程圖。

圖3為依據圖2所示的工藝調度方法而進行調度的甘特圖。

圖4及圖5分別為本發明實施例的一性能評估步驟的示意圖。

圖6為本發明實施例的一控制裝置的示意圖。

【主要元件符號說明】

10 工藝調度系統

110Q1～110Q4 設備

120 控制裝置

MT1～MT5 材料

20 工藝調度方法

200～216 步驟

60 控制裝置

600 處理電路

610 存儲器

620 通信接口

具體實施方式