[發明專利]一種塑料光纖SPR陣列傳感器及其制備方法

在審

• 申請號: 202011440696.1
• 申請日: 2020-12-08
• 公開（公告）號: CN112461795A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 滕傳新;苑立波;鄧仕杰
• 申請（專利權）人: 桂林電子科技大學
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552;G01N21/41
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種塑料光纖SPR陣列傳感器，其由光源、塑料光纖SPR傳感陣列、光電檢測裝置等組成，該塑料光纖SPR傳感陣列是通過利用模壓成型的方法在塑料光纖上制備出具有不同楔角的級聯楔形結構，然后在楔形結構上鍍金屬納米顆粒而獲得的。本發明利用在光纖上制備不同角度的楔形結構來改變輸入光的入射角，使不同波長的光在不同角度的楔形區域激發SPR效應，形成多個SPR傳感通道，從而實現多參量傳感。

2.如權利要求1所述的一種塑料光纖SPR傳感陣列，其制備方法為：

1)將塑料光纖放置于帶有U型微槽的鋼制底座中，然后將帶有多個不同角度楔形結構的模具垂直壓在光纖上面，保持該狀態1～2分鐘，之后將其移去，就可以在塑料光纖沿中心軸線方向上制備出級聯的不同角度的楔形結構。通過改變模具結構間距的大小和壓制的位移量就可以制備出不同間距和深度的級聯楔形結構。優選的，楔形結構的角度為5～50°，間距為0.5～4mm，深度為50～400μm。

2)采用離子濺射的方法可以將金、銀等貴金屬材料鍍在塑料光纖的級聯楔形結構上，從而形成SPR有源區域。優選的，所鍍金屬膜厚度為20～90nm。