[發明專利]一種高低速兼容直線位移增量精密測量方法

有效

• 申請號: 202011414880.9
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN112595238B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 王德麾;姜世平
• 申請（專利權）人: 四川云盾光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 賈年龍

1.一種高低速兼容直線位移增量精密測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、利用光電管A、光電管B產生光電信號，將定位圖案從零點位置開始移動，在光電信號經過定位圖案后產生脈沖信號，根據脈沖信號的時序確定移動方向，并通過測量系統累加脈沖信號，設當前脈沖信號累加值為m；

S2、通過CCD相機周期性拍攝圖像；

S3、在拍攝圖像中取中心處列圖像，并通過圖像處理算法依次獲得關鍵點P1、P2、P3和P4；

S4、計算點P1、P2、P3和P4的交比，進而獲得P1P2的距離與P1P3的距離的比值b；

S5、根據交比不變原理和脈沖信號累加值m和比值b計算定位圖案的當前位移位置；

S6、將當前位移位置調整為絕對位置，將絕對位置作為測量結果；

所述定位圖案包括若干個單元體，每個所述單元體包括豎直設置的光柵條紋，所述光柵條紋下方設有平行設置的直線L1、直線L2和直線L3，所述直線L1和直線L2之間的距離與直線L2和直線L3之間的距離相等，所述光柵條紋設置在直線L1的右端，所述直線L1的右端與直線L2的左端通過直線L連接，所述直線L與直線L2組成直角三角形光柵；

所述直線L1和直線L2之間的距離與直線L2和直線L3之間的距離均為a；

所述點P1、P2、P3和P4在同一條豎直線上，且點P1、P2、P3和P4分別與直線L1、直線L、直線L2和直線L3相交。

2.根據權利要求1所述的高低速兼容直線位移增量精密測量方法，其特征在于，所述定位圖案的當前位移位置的計算公式為：

p＝a*m+b*a

上式中，p為定位圖案的當前位移位置。

3.根據權利要求1所述的高低速兼容直線位移增量精密測量方法，其特征在于，所述CCD相機的位置正對光電管A和光電管B的位置。