[發(fā)明專利]一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011391176.6 | 申請日: | 2020-12-02 |
| 公開(公告)號: | CN112663020A | 公開(公告)日: | 2021-04-16 |
| 發(fā)明(設計)人: | 邵忠 | 申請(專利權)人: | 福建康碳復合材料科技有限公司;內(nèi)蒙古康碳復合材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/26 | 分類號: | C23C16/26;C23C16/44 |
| 代理公司: | 上海新隆知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 金利琴 |
| 地址: | 365000 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 有效 提高 沉積 恒溫 區(qū)均溫性 保溫 纏繞 方法 | ||
本發(fā)明公開一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法,通過在發(fā)熱體外表面沿高度方向纏繞不同厚度的碳氈保溫層,改變發(fā)熱體沿厚度方向上散熱量來彌補通氣時沿高度方向的溫度差異。通過本發(fā)明此種方式處理,可有效改善高度方向的溫度差異。
技術領域
本發(fā)明涉及一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法。
背景技術
制備碳/碳復合材料的兩種主要工藝為液相浸漬碳化法和化學氣相沉積法。沉積爐是實現(xiàn)化學氣相沉積法制備碳/碳復合材料的核心設備,工業(yè)化生產(chǎn)所用沉積爐按照加熱方式的不同分為電阻爐和感應爐。電阻爐的優(yōu)點是可分區(qū)加熱但發(fā)熱體維護成本較高;感應爐的優(yōu)點是升溫響應快、維護成本低但分區(qū)加熱難度大,如何有效彌補在高度方向上溫度梯度,改善高度方向上密度沉積不均勻性問題一直是業(yè)內(nèi)的痛點,一種方式是優(yōu)化保溫層的纏繞方式,通氣后在沉積室高度方向上的溫度差異去設定發(fā)熱體外側保溫層的厚度,沉積室內(nèi)溫度越低的區(qū)域所對應發(fā)熱體外側保溫層的厚度越厚,溫度越高的區(qū)域所對應發(fā)熱體區(qū)域外側的保溫層厚度越薄。
發(fā)明內(nèi)容
為解決以上現(xiàn)有技術存在的問題,本發(fā)明提出一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法。
本發(fā)明可通過以下技術方案予以解決:
一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法,包括以下步驟:
1)在發(fā)熱體表面粘貼3層預浸布,每層拼縫交錯處理;
2)準備寬度1.0m和1.2m,厚度均為10-15mm碳氈備用;
3)在預浸布外層開始纏繞碳氈,先纏繞一層寬度1.0m厚度10-15mm的碳氈,拼縫采用1.0-2.0mm的碳繩縫合,再在碳氈表面裹一層0.5-1.0mm厚的石墨紙,石墨紙拼縫用膠帶粘接;
4)在石墨紙外側纏繞一層寬為1.2m厚度為10-15mm厚的碳氈,該層碳氈拼縫與所述步驟3)的拼縫交錯處理,拼縫采用1.0-2.0mm的碳繩縫合,再在碳氈表面裹一層0.5-1.0mm厚的石墨紙,石墨紙拼縫用膠帶粘接;
5)重復(3)-(4)步4-7次后,上下兩端的碳氈呈階梯式突出,階梯之間碳氈相差的寬度控制在500mm以內(nèi),每層碳氈拼縫仍然采用1.0-2.0mm的碳繩縫合,再在碳氈表面裹一層0.5-1.0mm厚的石墨紙,石墨紙拼縫用膠帶粘接。
進一步地,所述階梯式碳氈的總層數(shù)控制在5層以內(nèi),頂部相較底部加厚1-2層。
進一步地,所述步驟5)后在所述石墨紙最外側粘貼三層預浸布。
有益效果
本發(fā)明通過控制保溫層在高度方向的厚度,可以有效緩解溫度在高度方向上差異,從而變相的擴大了恒溫區(qū)的有效空間。
附圖說明
圖1為本發(fā)明纏繞后的效果示意圖。
具體實施方式
以下通過特定的具體實施例說明本發(fā)明的實施方式,本領域的技術人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點及功效。
本發(fā)明的一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法,具體步驟為:
1)在發(fā)熱體表面粘貼3層預浸布,每層拼縫交錯處理。
2)準備寬度1.0m和1.2m,厚度均為10-15mm碳氈備用。
3)在預浸布外層開始纏繞碳氈,先纏繞一層寬度1.0m厚度10-15mm的碳氈,拼縫采用1.0-2.0mm的碳繩縫合,再在碳氈表面裹一層0.5-1.0mm厚的石墨紙,石墨紙拼縫用膠帶粘接即可;
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C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





