[發明專利]一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 202011390529.0
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN112504564A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 張倉明
• 申請（專利權）人: 蘇州萬貴源精密科技有限公司
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02;B65G47/90
• 代理公司: 廣東有知貓知識產權代理有限公司 44681
• 代理人: 陳長益

1.一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法，包括上料吸盤(1)、上料氣缸(2)、無桿氣缸(3)、檢測組件(4)以及下料組件(5)，其特征在于：所述上料吸盤(1)設于上料氣缸(2)側面，上料氣缸(2)與上料吸盤(1)活動連接，且上料氣缸(2)與無桿氣缸(3)活動連接，所述檢測組件(4)設于無桿氣缸(3)正面，檢測組件(4)與無桿氣缸(3)固定連接，且檢測組件(4)與上料吸盤(1)活動連接，所述下料組件(5)設于檢測組件(4)正面，下料組件(5)與檢測組件(4)活動連接。

2.根據權利要求1所述的一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法，其特征在于：所述檢測組件(4)包括檢測平臺(6)、驅動裝置(8)以及支架(9)，驅動裝置(8)設于支架(9)上表面所開設通孔內，且驅動裝置(8)與支架(9)固定連接，檢測平臺(6)設于支架(9)側面，檢測平臺(6)與支架(9)互不連接。

3.根據權利要求2所述的一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法，其特征在于：所述驅動裝置(8)底部設有壓頭(7)，壓頭(7)與驅動裝置(8)固定連接。

4.根據權利要求3所述的一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法，其特征在于：所述壓頭(7)上表面所開設通孔內氣體通道(10)，氣體通道(10)與壓頭(7)固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法，其特征在于：所述下料組件(5)包括高精度線性模組(11)、下料平臺(13)以及下料氣缸(14)，高精度線性模組(11)與下料氣缸(14)固定連接，且下料氣缸(14)側面設有下料吸盤(12)，下料平臺(13)與下料氣缸(14)活動連接。

6.根據權利要求5所述的一種微流控芯片膜類鍵合后氣密性檢測裝置及方法，其特征在于：所述下料吸盤(12)底部設有下料平臺(13)，下料平臺(13)與下料吸盤(12)活動連接。