[發明專利]一種新型的可用于自校準技術的微型壓電振動臺結構在審
| 申請號： | 202011389877.6 | 申請日： | 2020-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN112525222A | 公開（公告）日： | 2021-03-19 |
| 發明（設計）人： | 徐娜 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | G01C25/00 | 分類號： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱亞冠 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 用于 校準 技術 微型 壓電 振動 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型的可用于自校準技術的微型壓電振動臺結構，其特征在于包括四個大寬度非中間折疊的折疊梁以及一個中心平臺；
中心平臺的四個側邊分別與一個大寬度非中間折疊的折疊梁的一端連接；
大寬度非中間折疊的折疊梁依次由連接梁、長梁、短梁構成；連接梁與長梁垂直設置，長梁與短梁垂直設置；沿著逆時針方向，每一個大寬度非中間折疊的折疊梁將下一個大寬度非中間折疊的折疊梁部分包圍；
大寬度非中間折疊的折疊梁連接梁的一端與中心平臺側邊連接，交接點為中心平臺側邊非中心點位置。
2.如權利要求1所述的一種新型的可用于自校準技術的微型壓電振動臺結構，其特征在于大寬度非中間折疊的折疊梁長梁與中心平臺側邊構成縫隙。
3.如權利要求1所述的一種新型的可用于自校準技術的微型壓電振動臺結構，其特征在于大寬度非中間折疊的折疊梁短梁與下一個大寬度非中間折疊的折疊梁間構成氣隙。
4.如權利要求1所述的一種新型的可用于自校準技術的微型壓電振動臺結構，其特征在于大寬度非中間折疊的折疊梁包括襯底Si、底部電極、壓電材料PZT和頂部電極；底部電極接地，頂部電極接驅動電壓，利用壓電材料PZT的逆壓電效應使得折疊梁產生運動。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于杭州電子科技大學，未經杭州電子科技大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011389877.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種帶溫度限制的USB線纜控制裝置及方法
- 下一篇：一種市政工程道路養護裝置
