[發明專利]一種高純氮源制備方法

在審

• 申請號: 202011372530.0
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112624064A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 趙毅;計燕秋;趙趫;劉穎;王天源;馮凱;裴凱
• 申請（專利權）人: 大連保稅區科利德化工科技開發有限公司
• 主分類號: C01B21/04
• 分類號: C01B21/04
• 代理公司: 大連優路智權專利代理事務所(普通合伙) 21249
• 代理人: 姚萍

1.一種高純氮源制備方法，包括步驟一，原料準備；步驟二，液態脫氧；步驟三，雜質處理；步驟四，氮源除塵；步驟五，存儲放置；其特征在于：

其中在上述步驟一中，原料準備包括以下步驟：

1)人工根據國外超高純氮指標選取高純氮原料氣，并將高純氮原料氣存放在低溫氣罐內部；

2)檢測高純氮原料氣，過濾雜質，并將其震蕩，隨后靜置存儲；其中在上述步驟二中，液態脫氧包括以下步驟：

1)人工準備吸附器，并將吸附器兌入吸附劑，并將吸附劑進行冷卻，隨后靜置存儲備用；

2)將步驟一2)中高純氮原料氣通入吸附器內部，震蕩10-20min，使得高純氮原料氣內部氧與氬吸附，隨后倒出吸附后的高純氮原料氣；其中在上述步驟三中，雜質處理包括以下步驟：

1)人工將步驟二2)中吸附后的高純氮原料氣兌入脫氫劑，隨后靜置10-20min，導出高純氮原料氣；

2)再將脫氫后的高純氮原料氣通入分子篩進行過濾，隨后導入硅膠吸附劑，除去雜質；

其中在上述步驟四中，氮源除塵包括以下步驟：

1)人工準備氣體過濾器，將步驟三2)中去除雜質后的高純氮原料氣通入氣體過濾器；

2)將氣體過濾器內部插入過濾膜，使高純氮原料氣通過過濾膜，完成過濾除塵，即可得到高純氮源；

其中在上述步驟五中，存儲放置包括以下步驟：

1)人工將步驟四2)中得到高純氮源通過微氧儀與氣相色譜儀進行檢測，并分析高純氮源碳氫化合物與金屬離子，合格后存儲備用；

2)將合格的高純氮源存儲在金屬容器內部，將其存放在冷藏室中。

2.根據權利要求1所述的一種高純氮源制備方法，其特征在于：所述步驟一1)中低溫氣罐使用前需要進行清洗。

3.根據權利要求1所述的一種高純氮源制備方法，其特征在于：所述步驟二1)中吸附劑為沸石原料。

4.根據權利要求1所述的一種高純氮源制備方法，其特征在于：所述步驟三1)中脫氫劑為活性氧化銅。

5.根據權利要求1所述的一種高純氮源制備方法，其特征在于：所述步驟四2)中過濾膜為聚乙烯制成。

6.根據權利要求1所述的一種高純氮源制備方法，其特征在于：所述步驟五1)中不合格的高純氮源重新加工。