[發(fā)明專(zhuān)利]一種增加陶瓷孔內(nèi)壁附著力的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011370450.1
• 申請(qǐng)日: 2020-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112725749A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅素?fù)?/a>;袁廣;黃嘉華;李勝武
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 惠州市芯瓷半導(dǎo)體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/18
• 代理公司: 廈門(mén)市新華專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 35203
• 代理人: 吳成開(kāi);徐勛夫

本發(fā)明公開(kāi)一種增加陶瓷孔內(nèi)壁附著力的方法，包括有以下步驟：（1）取開(kāi)設(shè)有凹孔的陶瓷基材；（2）磁控濺射：將金屬靶材與陶瓷基材呈一角度放置，金屬靶材濺射金屬的方向不與陶瓷基材的表面垂直，利用金屬靶材在陶瓷基材的表面及凹孔的內(nèi)壁先濺射一層鈦層，再濺射一層底銅層，底銅層覆蓋在鈦層的表面形成種子層；（3）對(duì)凹孔進(jìn)行電鍍填銅以形成厚銅層，該厚銅層覆蓋在種子層的表面上。通過(guò)將金屬靶材與陶瓷基材呈一角度放置，使得磁控濺射有一定的角度，并配合先濺射一層鈦層，再濺射一層底銅層，以形成種子層，利用種子層，使得后續(xù)形成的厚銅層與凹孔內(nèi)壁連接緊密，有效增加了附著力，切割時(shí)不會(huì)將金屬帶出，有利于保證產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及陶瓷器件領(lǐng)域技術(shù)，尤其是指一種增加陶瓷孔內(nèi)壁附著力的方法。

背景技術(shù)

在陶瓷器件的生產(chǎn)制作過(guò)程中，通常需要在陶瓷基材的凹孔內(nèi)進(jìn)行金屬填充，現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)陶瓷基材之凹孔內(nèi)的電鍍一般是通過(guò)化學(xué)沉銅，使凹孔內(nèi)壁金屬化，然后再進(jìn)行電鍍加厚。這種方法無(wú)法在凹孔內(nèi)壁形成種子層，使得銅與陶瓷的連接層（鈦）缺失，從而凹孔內(nèi)陶瓷與金屬的附著力很差，當(dāng)進(jìn)行凹孔切割時(shí)，容易把整個(gè)凹孔內(nèi)的銅帶出，從而導(dǎo)致產(chǎn)品不良。因此，有必要研究一種方案以解決上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在之缺失，其主要目的是提供一種增加陶瓷孔內(nèi)壁附著力的方法，其能有效解決現(xiàn)有之陶瓷基材之凹孔內(nèi)陶瓷與金屬的附著力很差的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下之技術(shù)方案：

一種增加陶瓷孔內(nèi)壁附著力的方法，包括有以下步驟：

（1）取開(kāi)設(shè)有凹孔的陶瓷基材；

（2）磁控濺射：將金屬靶材與陶瓷基材呈一角度放置，金屬靶材濺射金屬的方向不與陶瓷基材的表面垂直，利用金屬靶材在陶瓷基材的表面及凹孔的內(nèi)壁先濺射一層鈦層，再濺射一層底銅層，底銅層覆蓋在鈦層的表面形成種子層；

（3）對(duì)凹孔進(jìn)行電鍍填銅以形成厚銅層，該厚銅層覆蓋在種子層的表面上。

作為一種優(yōu)選方案，所述金屬靶材水平固定設(shè)置，該陶瓷基材傾斜并旋轉(zhuǎn)設(shè)置。

作為一種優(yōu)選方案，所述金屬靶材傾斜并旋轉(zhuǎn)設(shè)置，該陶瓷基材水平固定設(shè)置。

作為一種優(yōu)選方案，所述凹孔為盲孔或通孔，其內(nèi)徑為0.15mm以上，當(dāng)凹位為通孔時(shí)，陶瓷基材的上方和下方均設(shè)置有金屬靶材。

作為一種優(yōu)選方案，所述金屬靶材與陶瓷基材之間的角度為60°。

作為一種優(yōu)選方案，所述鈦層的厚度為50-100nm，該底銅層的厚度為300-500nm。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果，具體而言，由上述技術(shù)方案可知：

通過(guò)將金屬靶材與陶瓷基材呈一角度放置，使得磁控濺射有一定的角度，并配合先濺射一層鈦層，再濺射一層底銅層，以形成種子層，利用種子層，使得后續(xù)形成的厚銅層與凹孔內(nèi)壁連接緊密，有效增加了附著力，切割時(shí)不會(huì)將金屬帶出，有利于保證產(chǎn)品質(zhì)量。

為更清楚地闡述本發(fā)明的結(jié)構(gòu)特征和功效，下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施例來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程中第一狀態(tài)俯視圖；

圖2是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程中第一狀態(tài)截面圖；

圖3是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程中第二狀態(tài)俯視圖；

圖4是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程中第二狀態(tài)截面圖；

圖5是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程的狀態(tài)示意圖；

圖6是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程的另一狀態(tài)示意圖；

圖7是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程中第三狀態(tài)截面圖；

圖8是本發(fā)明之較佳實(shí)施例制作過(guò)程中第四狀態(tài)截面圖。