[發明專利]鍍膜膜厚在線監測方法和鍍膜機在審
| 申請號： | 202011361770.0 | 申請日： | 2020-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN112504143A | 公開（公告）日： | 2021-03-16 |
| 發明（設計）人： | 李鑫;王之琦;龔渤 | 申請（專利權）人： | 江蘇永鼎光電子技術有限公司;江蘇永鼎股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 蘇州睿昊知識產權代理事務所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 馬小慧 |
| 地址： | 215200 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鍍膜 在線 監測 方法 | ||
1.一種鍍膜膜厚在線監測方法，其特征在于：包括，
光信號透過薄膜進入信號接收器；
所述信號接收器采集到前一周期結束時的光透射率和當前周期結束時的光透射率；
根據所述當前周期結束時的光透射率相對于所述前一周期結束時的光透射率的變化計算出當前周期的薄膜厚度。
2.如權利要求1所述的鍍膜膜厚在線監測方法，其特征在于：逐層鍍膜獲得所述薄膜過程中，鍍一層為一個周期。
3.如權利要求1所述的鍍膜膜厚在線監測方法，其特征在于：逐層鍍膜獲得所述薄膜過程中，鍍多層為一個周期。
4.如權利要求1~3任一項所述的鍍膜膜厚在線監測方法，其特征在于：所述光信號為激光光信號。
5.一種鍍膜機，包括鍍膜腔室和設置在所述鍍膜腔室內的激光測量模組，其特征在于：所述激光測量模組應用權利要求1~4任一項所述的鍍膜膜厚在線監測方法測量薄膜的厚度。
6.如權利要求5所述的鍍膜機，其特征在于：所述激光測量模組包括平面工件架，所述平面工件架上設有成膜基座，所述平面工件架繞自己的軸心轉動，所述成膜基座繞自己的軸心轉動。
7.如權利要求6所述的鍍膜機，其特征在于：所述平面工件架上設有多個成膜基座，所述多個成膜基座設置在以所述平面工件架的軸心為圓心的圓周上，至少一個所述成膜基座繞自己的軸心轉動。
8.如權利要求6所述的鍍膜機，其特征在于：所述平面工件架的轉動速度能夠調節，或/和所述成膜基座的轉動速度能夠調節。
9.如權利要求6所述的鍍膜機，其特征在于：所述激光測量模組還包括激光光源和信號接收器，所述激光光源和信號接收器分別設置在所述平面工件架的相對兩側，所述信號接收器所含透鏡的光軸與所述平面工件架相垂直，所述激光光源位于所述信號接收器所含透鏡的光軸上。
10.如權利要求9所述的鍍膜機，其特征在于：所述激光測量模組還包括輔正板，所述輔正板用于遮擋部分蒸發源，且所述激光光源安裝在所述輔正板上。
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