[發(fā)明專利]差分電容麥克風(fēng)及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011359976.X
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN112492500A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 聶泳忠;毛德豐
• 申請（專利權(quán)）人: 西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00;H04R19/04;H04R19/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 娜拉

1.一種差分電容麥克風(fēng)，包括振動膜(3)，其特征在于，

所述振動膜(3)包括層疊設(shè)置的振膜層(31)和導(dǎo)電層(32)；

所述振膜層(31)的材質(zhì)為聚合物；

所述導(dǎo)電層(32)的電導(dǎo)率大于所述振膜層(31)的電導(dǎo)率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述導(dǎo)電層(32)的材質(zhì)選自金屬、導(dǎo)電銀漿、金屬型碳管和碳納米管中的至少一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述聚合物為聚二甲基硅氧烷和聚甲基丙烯酸甲酯中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述差分電容麥克風(fēng)還包括第一襯底(1)，與所述振動膜(3)連接構(gòu)成第一電容結(jié)構(gòu)；

第二襯底(2)，與所述振動膜(3)連接構(gòu)成第二電容結(jié)構(gòu)，所述第一電容結(jié)構(gòu)與所述第二電容結(jié)構(gòu)形成差分電容結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述導(dǎo)電層(32)在所述振膜層(31)邊緣預(yù)設(shè)位置具有凸起的導(dǎo)線連接塊(301)，所述第一襯底(1)上具有與所述凸起的導(dǎo)線連接塊(301)相適配的凹槽，所述第一襯底(1)與所述振動膜(3)通過所述凹槽與所述凸起的導(dǎo)線連接塊(301)連接；

或，所述導(dǎo)電層(32)在所述振膜層(31)邊緣預(yù)設(shè)位置具有凹槽，所述第一襯底(1)上具有與所述凹槽相適配的凸起的導(dǎo)線連接塊(301)，所述第一襯底(1)與所述振動膜(3)通過所述凹槽與所述凸起的導(dǎo)線連接塊(301)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一襯底(1)具有第一背板(11)、第一支撐部(12)及第一背腔(13)，所述第一背板(11)通過所述第一支撐部(12)支撐，且所述第一背板(11)與所述第一支撐部(12)之間形成所述第一背腔(13)；

所述第二襯底(2)具有第二背板(21)、第二支撐部(22)及第二背腔(23)，所述第二背板(21)通過所述第二支撐部(22)支撐，且所述第二背板(21)與所述第二支撐部(22)之間形成所述第二背腔(23)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述振動膜(3)設(shè)置于所述第一襯底(1)及所述第二襯底(2)之間，且所述振動膜(3)通過所述第一背腔(13)與所述第一背板(11)相對設(shè)置，通過所述第二背腔(23)與所述第二背板(21)相對設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的差分電容麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一背板(11)與所述第二背板(21)上均具有釋放孔，所述振膜上具有聲孔，所述釋放孔與所述聲孔錯位布局。

9.一種差分電容麥克風(fēng)制作方法，其特征在于，包括：

形成振動膜(3)，在硅片(100)表面設(shè)置振膜層(31)，所述振膜層(31)的材質(zhì)為聚合物；

在所述振膜層(31)上設(shè)置導(dǎo)電層(32)，并對所述導(dǎo)電層(32)進(jìn)行圖形化，所述導(dǎo)電層(32)的電導(dǎo)率大于所述振膜層(31)的電導(dǎo)率。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的差分電容麥克風(fēng)制作方法，其特征在于，

所述形成振動膜(3)的步驟包括，形成在所述振膜層(31)邊緣預(yù)設(shè)位置具有凸起的導(dǎo)線連接塊(301)，或，形成在所述振膜層(31)邊緣預(yù)設(shè)位置的凹槽。