[發(fā)明專利]一種測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011354760.4
• 申請(qǐng)日: 2020-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN114562943A
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;白園園;馬硯忠;張嵩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 劉猛

1.一種測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，包括：

光發(fā)射模塊，用于產(chǎn)生第一泵浦光和探測(cè)光；

調(diào)制模塊，用于對(duì)所述第一泵浦光進(jìn)行調(diào)制，形成第二泵浦光并照射到待測(cè)物表面，在所述待測(cè)物中形成聲波，所述探測(cè)光到達(dá)所述待測(cè)物表面后反射形成信號(hào)光；

所述調(diào)制模塊包括：第一分光組件，所述第一分光組件用于將所述第一泵浦光分成第一光束和第二光束，所述第一光束和所述第二光束具有不同的光學(xué)性質(zhì)；光開關(guān)，所述光開關(guān)用于控制所述第一光束的光路和/或所述第二光束的光路的通斷；合束組件，所述合束組件用于使通過所述光開光的第一光束和第二光束進(jìn)行合束，形成所述第二泵浦光；

探測(cè)模塊，用于探測(cè)所述信號(hào)光，并根據(jù)所述信號(hào)光獲得所述待測(cè)物的待檢測(cè)信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一分光組件包括偏振分束器或振幅分束器；所述偏振分束器用于使所述第一光束和所述第二光束具有不同的偏振態(tài)；所述振幅分束器用于使所述第一光束和所述第二光束具有不同的振幅。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光開關(guān)使所述第一光束的光路和所述第二光束的光路交替通斷。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光開關(guān)包括第一光開關(guān)和第二光開關(guān)中的一者或兩者的組合；

所述第一光開關(guān)用于控制所述第一光束的光路的通斷；

所述第二光開關(guān)用于控制所述第二光束的光路的通斷。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)制模塊還包括射頻控制單元，所述射頻控制單元與所述光開關(guān)相連；

所述射頻控制單元用于向所述光開關(guān)輸出控制信號(hào)，以通過所述控制信號(hào)控制所述光開關(guān)的開或關(guān)狀態(tài)，以通過控制所述光開關(guān)的開或關(guān)狀態(tài)控制所述第一光束的光路和/或所述第二光束的通或斷狀態(tài)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)制模塊還包括信號(hào)發(fā)生單元，所述信號(hào)發(fā)生單元與所述射頻控制單元相連；

所述信號(hào)發(fā)生單元用于向所述射頻控制單元輸入?yún)?shù)控制信號(hào)，以控制所述射頻控制單元輸出所述控制信號(hào)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光開關(guān)包括第一光開關(guān)和第二光開關(guān)，所述射頻控制單元包括第一子控制單元和第二子控制單元，所述第一子控制單元用于根據(jù)所述參數(shù)控制信號(hào)生成第一控制信號(hào)，并向所述第一光開關(guān)輸出所述第一控制信號(hào)，所述第二子控制單元用于根據(jù)所述參數(shù)控制信號(hào)生成第二控制信號(hào)，并向所述第二光開關(guān)輸出所述第二控制信號(hào)，以通過所述第一控制信號(hào)控制所述第一光開關(guān)的開或關(guān)狀態(tài)、通過所述第二控制信號(hào)控制所述第二光開關(guān)的開或關(guān)狀態(tài)；所述參數(shù)控制信號(hào)包括方波，所述參數(shù)控制信號(hào)的占空比為40％-60％。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述探測(cè)模塊包括探測(cè)器、解調(diào)器和數(shù)據(jù)處理模塊；

所述探測(cè)器用于探測(cè)所述探測(cè)光和泵浦光具有不同延遲時(shí)間時(shí)形成的信號(hào)光，并獲得所述信號(hào)光的光強(qiáng)隨延遲時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào)；

所述解調(diào)器用于接收所述信號(hào)發(fā)生單元輸出的參考信號(hào)和所述探測(cè)器輸出的所述信號(hào)光的光強(qiáng)隨延遲時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào)，根據(jù)所述參考信號(hào)對(duì)所述檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，并將解調(diào)后的所述檢測(cè)信號(hào)傳輸至所述數(shù)據(jù)處理模塊；

所述數(shù)據(jù)處理模塊用于根據(jù)所述解調(diào)后的檢測(cè)信號(hào)獲得所述待測(cè)物的檢測(cè)信息。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光發(fā)射模塊包括：

激光器，用于產(chǎn)生激光；

第二分光組件，用于將所述激光分成所述第一泵浦光和所述探測(cè)光；

時(shí)間延遲器，用于調(diào)節(jié)所述探測(cè)光和所述第一泵浦光之間的延遲時(shí)間，或調(diào)節(jié)所述探測(cè)光和所述第二泵浦光之間的延遲時(shí)間。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光開關(guān)包括聲光調(diào)制器。