[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011346746.X
• 申請(qǐng)日: 2020-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN112476129A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 烏蘭
• 主分類號(hào): B24B9/06
• 分類號(hào): B24B9/06;B24B27/00;B24B41/06;B24B45/00;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備，其特征在于，包括：

工作臺(tái)(1)；

第一電機(jī)(2)，可拆卸地設(shè)置于所述工作臺(tái)(1)的下表面中心位置；

轉(zhuǎn)盤(3)，可拆卸地設(shè)置于所述第一電機(jī)(2)的輸出端；

支撐座(4)，數(shù)量為四個(gè)，沿周向等距設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤(3)的上表面外側(cè)；

晶圓吸盤(5)，可拆卸地設(shè)置于所述支撐座(4)的頂部；

支撐桿(6)，數(shù)量為四個(gè)，分別固定連接于所述工作臺(tái)(1)的上表面四角；

頂板(7)，固定連接于所述支撐桿(6)的頂端；

調(diào)距機(jī)構(gòu)(8)，可拆卸地設(shè)置于所述頂板(7)的下表面右側(cè)；

研磨機(jī)構(gòu)(9)，設(shè)置于所述調(diào)距機(jī)構(gòu)(8)的內(nèi)腔；

研磨輥(10)，卡接于所述研磨機(jī)構(gòu)(9)的內(nèi)腔；

所述調(diào)距機(jī)構(gòu)(8)包括：

第二電機(jī)(81)，可拆卸地設(shè)置于所述頂板(7)的下表面右側(cè)；

支撐板(82)，可拆卸地設(shè)置于所述第二電機(jī)(81)輸出端；

滑桿(83)，沿左右方向設(shè)置于所述支撐板(82)的內(nèi)腔前側(cè)；

螺桿(84)，兩端分別通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述支撐板(82)的左右內(nèi)壁后端，且右側(cè)延伸出支撐板(82)的右側(cè)壁；

圓盤(85)，固定連接于所述支撐板(82)的右側(cè)壁后端，且所述圓盤(85)的右側(cè)壁沿周向均開設(shè)有卡槽(86)；

制動(dòng)組件(87)，設(shè)置于所述螺桿(84)的右端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備，其特征在于：若干個(gè)所述卡槽(86)沿周向連續(xù)分布于圓盤(85)的右側(cè)壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備，其特征在于：所述制動(dòng)組件(87)包括：

擋板(871)，固定連接于所述螺桿(84)的右端；

旋鈕(872)，套接于所述擋板(871)的外壁；

第一導(dǎo)桿(873)，數(shù)量為兩個(gè)，且分別沿左右方向設(shè)置于所述擋板(871)的左側(cè)壁上下兩端，所述第一導(dǎo)桿(873)的左端延伸出旋鈕(872)的左側(cè)壁；

彈簧(874)，套接于所述第一導(dǎo)桿(873)的外壁；

卡塊(875)，數(shù)量為兩個(gè)，分別設(shè)置于所述旋鈕(872)的左側(cè)壁上下兩端，且內(nèi)嵌于所述卡槽(86)的內(nèi)腔對(duì)旋鈕(872)定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備，其特征在于：所述旋鈕(872)的外壁設(shè)置有防滑棱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備，其特征在于：所述基座(91)包括：

基座(91)，一側(cè)螺接于所述螺桿(84)的外壁，且另一側(cè)套接于所述滑桿(83)的外壁；

第三電機(jī)(92)，螺釘連接于所述基座(91)的上表面，且輸出端延伸出基座(91)的下表面；

第一定位塊(93)，可拆卸地設(shè)置于所述第三電機(jī)(92)的輸出端，所述研磨輥(10)頂部套接于第一定位塊(93)的外壁；

立板(94)，固定連接于所述基座(91)的下表面后側(cè)，且下表面左右兩側(cè)均開設(shè)有滑槽(95)；

第二導(dǎo)桿(96)，可上下滑動(dòng)的內(nèi)嵌于所述滑槽(95)的內(nèi)腔；

底板(97)，固定連接于所述第二導(dǎo)桿(96)的底端；

轉(zhuǎn)軸(98)，通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述底板(97)的上表面中部；

第二定位塊(99)，固定連接于所述轉(zhuǎn)軸(98)的頂端，所述研磨輥(10)的底端套接于第二定位塊(99)的外壁；

緊固螺栓(910)，內(nèi)嵌于所述底板(97)的后側(cè)，且與所述立板(94)底端螺接對(duì)底板(97)鎖緊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體多規(guī)格研磨設(shè)備，其特征在于：所述第一定位塊(93)和第二定位塊(99)的側(cè)壁均呈六邊形。