[發(fā)明專利]一種用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011317544.2
• 申請(qǐng)日: 2020-11-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112372104A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳勇;曾逸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市金翰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B23K3/08
• 分類號(hào): B23K3/08;B23K1/018
• 代理公司: 深圳市添源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44451
• 代理人: 羅志偉

1.一種用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：包括帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴、溫度傳感器、加熱裝置和保護(hù)氣體流通裝置，所述溫度傳感器、加熱裝置、保護(hù)氣體流通裝置分別固定在所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴上，所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴從下至上分為頭部、身部和尾部，所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴的頭部設(shè)有吸附晶元的吸附孔，所述溫度傳感器位于所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴的頭部，所述導(dǎo)流槽位于所述微孔吸嘴的頭部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴連接有外環(huán)隔熱保護(hù)套，所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴、外環(huán)隔熱保護(hù)套之間圍合形成加熱腔體，所述加熱裝置位于所述加熱腔體之內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述導(dǎo)流槽為螺旋導(dǎo)流槽，所述螺旋導(dǎo)流槽自所述加熱腔體的內(nèi)部向外部螺旋延伸；所述螺旋導(dǎo)流槽為所述保護(hù)氣體流通裝置的保護(hù)氣體輸出口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述保護(hù)氣體流通裝置包括內(nèi)環(huán)蓄熱體，所述內(nèi)環(huán)蓄熱體位于所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴、外環(huán)隔熱保護(hù)套之間，所述內(nèi)環(huán)蓄熱體與所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴圍合形成蓄熱腔體，以所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴為中心，所述蓄熱腔體為內(nèi)環(huán)，所述加熱腔體為外環(huán)，所述內(nèi)環(huán)蓄熱體上設(shè)有輸入保護(hù)氣體的保護(hù)氣體分流入口，所述蓄熱腔體上設(shè)有保護(hù)氣體換熱通道，所述保護(hù)氣體換熱通道連通所述蓄熱腔體和加熱腔體，所述保護(hù)氣體分流入口、蓄熱腔體、保護(hù)氣體換熱通道、加熱腔體、保護(hù)氣體輸出口連通為保護(hù)氣體通道。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述保護(hù)氣體換熱通道向上傾斜設(shè)置，所述保護(hù)氣體換熱通道位于蓄熱腔體的一端部為低端部，位于加熱腔體的一端部為高端部。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴的身部位于所述蓄熱腔體之內(nèi),所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴的頭部位于所述加熱腔體之外。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述內(nèi)環(huán)蓄熱體的上端部設(shè)有保護(hù)氣體接入口和保護(hù)氣體分流腔體，所述保護(hù)氣體分流腔體為圓環(huán)狀，所述保護(hù)氣體接入口、保護(hù)氣體分流入口分別與所述保護(hù)氣體分流腔體連通，所述保護(hù)氣體接入口、保護(hù)氣體分流腔體、保護(hù)氣體分流入口、蓄熱腔體、保護(hù)氣體換熱通道、加熱腔體、保護(hù)氣體輸出口連通為保護(hù)氣體通道。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述加熱保護(hù)吸嘴還包括控制器和保護(hù)氣體供應(yīng)裝置，所述保護(hù)氣體供應(yīng)裝置與所述保護(hù)氣體接入口連接，所述控制器分別與所述溫度傳感器、加熱裝置連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶元返修機(jī)的加熱保護(hù)吸嘴，其特征在于：所述加熱保護(hù)吸嘴還包括與晶元返修機(jī)連接的夾持裝置，所述帶導(dǎo)流槽的微孔吸嘴的尾部包裹有隔熱套，所述夾持裝置夾緊在所述隔熱套上。